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300mm硅单晶及抛光片标准

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标签: 300mm

300mm

硅单晶

300mm

抛光片标准

300mm

300mm硅抛光片的产品、工艺技术在国外已经很成熟。

而在我国起步较晚,还处于试验阶段。

因此对于集成电路所需的300mm硅片的基本参数指标、金属污染和缺陷控制、表面形态与质量、成本等都面临着新的挑战。硅材料的生产工艺、技术、检测方法已成为今后研究的主要内容,同时也是推动产业发展的关键所在。

随着300mm硅单晶及抛光片的诞生,我们也面临一个制定相应的国家标准的问题。

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