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MEMS Mirrors for LiDAR A Review

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标签: 自动驾驶

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:  In  recent  years,  Light  Detection  and  Ranging  (LiDAR)  has  been  drawing  extensive  attentionboth  in  academia  and  industry  because  of  the  increasing  demand  for  autonomous  vehicles.  LiDAR  isbelieved  to  be  the  crucial  sensor  for  autonomous  driving  and  flying,  as  it  can  provide  high-densitypoint  clouds  with  accurate  three-dimensional  information.  This  review  presents  an  extensive  overviewof  Microelectronechanical  Systems  (MEMS)  scanning  mirrors  specifically  for  applications  in  LiDARsystems.  MEMS  mirror-based  laser  scanners  have  unrivalled  advantages  in  terms  of  size,  speed  andcost  over  other  types  of  laser  scanners,  making  them  ideal  for  LiDAR  in  a  wide  range  of  applications.

A  figure  of  merit  (FoM)  is  defined  for  MEMS  mirrors  in  LiDAR  scanners  in  terms  of  aperture  size,field  of  view  (FoV)  and  resonant  frequency.  Various  MEMS  mirrors  based  on  different  actuationmechanisms  are  compared  using  the  FoM.  Finally,  a  preliminary  assessment  of  off-the-shelf  MEMSscanned  LiDAR  systems  is  given.

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