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集成电路制造技术原理与工艺-外延

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标签: 集成电路、工艺

外延是在晶体上生长晶体,生长出的晶体的晶向与衬底晶向相同,掺杂类型、电阻率可不同。n/n+,n/p,GaAs/Si。

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