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MEMS系统级的跨平台建模技术研究

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  • 日期: 2013-09-22
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标签: MEMS

基于可重用IP(Intellectual Property)的设计方法为微机电系统(MEMS)系统级建模与仿真技术提供了新的思路,有望成为未来的主流。它将MEMS分解为梁、质量块、可变电容器等多个功能结构部件,把这些功能结构部件建立为参数化的组件模型,组件模型按照器件的功能结构布局相互联接形成的网络表征整个MEMS。目前采用该思想建立的组件模型局限于特定的仿真器,通用性差,不能在其他的平台上应用。

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