在射频(RF)激励激光器中,功率控制大多采用脉宽调制(PWM)方式。针对PWM方式,本文提出一种采用全数字方式产生频率及占空比可调的脉冲信号,该信号用来控制激光器的输出功率。目前在小功率(低于100W)射频激励的CO2 激光器中,包括进口的激光器,功率控制大多采用PWM 方式,通过频率及占空比可调的脉冲信号控制激光器的输出功率。如SYNRAD公司J 型号48 系列射频激励CO2 激光器中,其占空比可调的机理是通过安装在计算机ISA卡上的D/A 转换卡将占空比转换为对应的0~10V 电压,然后用该模拟电压控制UC1000 输出脉冲信号的占空比,频率调整机理是通过手动调节电位器,调整频率发生器的谐振频率,如图1 所示。
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