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半导体器件可靠性及工艺控制

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标签: 半导体半导体技术

重点介绍了国内外半导体器件制造工艺与器件可靠性的相关性报道,还介绍了关键工艺控制点的确定机器参数控制范围以及生产高质量、高可靠性器件的工艺环境的控制要求  

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