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Thin film materials stress, defect formation and surface evolution (L. B. Freund, S. Suresh)

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标签: 半导体

半导体

Thin  film  mechanical  behavior  and  stress  presents  a  technological  challenge  for  materials  scientists,  physicists  and  engineers.  This  book  provides  a  comprehensive  coverage  of  the  major  issues  and  topics  dealing  with  stress,  defect  formation,  surface  evolution  and  allied  effects  in  thin  film  materials.  Physical  phenomena  are  examined  from  the  continuum  down  to  the  sub-microscopic  length  scales,  with  the  connections  between  the  structure  of  the  material  and  its  behavior  described.  Theoretical  concepts  are  underpinned  by  discussions  on  experimental  methodology  and  observations.  Fundamental  scientific  concepts  are  embedded  through  sample  calculations,  a  broad  range  of  case  studies  with  practical  applications,  thorough  referencing,  and  end  of  chapter  problems.  With  solutions  to  problems  available  on-line,  this  book  will  be  essential  for  graduate  courses  on  thin  films  and  the  classic  reference  for  researchers  in  the  field.

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