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半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用

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标签: 半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用

论述了金属氧化物SnO 2 的气敏机理, 并对通过掺杂金属、金属离子、金属氧化物以及形成复合型、多组分氧化物等方法制备SnO 2 薄膜气敏传感器的最新研究成果进行了简要介绍。关键词 传感器 气敏材料 SnO 2 薄膜 制备 应用Abstract The gas sensit ive p rincip le of t in2dioxide was stated and the p resent study situat ion was int roduced briefly on p reparat ion of t in2dioxide membranous gas senso r by means of dop ing metal,metal ions,metal oxides, the compo site of metal oxides.Key words Senso r Gas2sensing materials SnO2membrane P reparat ion App licat ion

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