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硅电容压力传感器及其产业化

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标签: 压力传感器

压力传感器作为工业自动化仪表——特别是变送器类仪表、重要的检测元件,其原理通常有谐振型、压阻型、电容型等,代表产品分别有横河公司的EJA系列硅谐振传感器、Honeywell的ST-3000系列硅压阻传感器、Rosemount的CDS-3151系列金属电容传感器。近年来,硅电容压力传感器作为变送器的重要检测元件越来越受到业界的重视和青睐,其原因是硅电容压力传感器与其他原理的压力传感器相比,有其明显的特点和优势。

关键词:压力传感器硅电容式产业化

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