Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control

A  practical  guide  to  semiconductor  manufacturing  from  process  control  to  yield  modeling  and  experimental  design

Fundamentals  of  Semiconductor  Manufacturing  and  Process  Control  covers  all  issues  involved  in  manufacturing  microelectronic  devices  and  circuits,  including  fabrication  sequences,  process  control,  experimental  design,  process  modeling,  yield  modeling,  and  CIM/CAM  systems.  Readers  are  introduced  to  both  the  theory  and  practice  of  all  basic  manufacturing  concepts.

Following  an  overview  of  manufacturing  and  technology,  the  text  explores  process  monitoring  methods,  including  those  that  focus  on  product  wafers  and  those  that  focus  on  the  equipment  used  to  produce  wafers.  Next,  the  text  sets  forth  some  fundamentals  of  statistics  and  yield  modeling,  which  set  the  foundation  for  a  detailed  discussion  of  how  statistical  process  control  is  used  to  analyze  quality  and  improve  yields.

The  discussion  of  statistical  experimental  design  offers  readers  a  powerful  approach  for  systematically  varying  controllable  process  conditions  and  determining  their  impact  on  output  parameters  that  measure  quality.  The  authors  introduce  process  modeling  concepts,  including  several  advanced  process  control  topics  such  as  run-by-run,  supervisory  control,  and  process  and  equipment  diagnosis.

Critical  coverage  includes  the  following:

*  Combines  process  control  and  semiconductor  manufacturing

*  Unique  treatment  of  system  and  software  technology  and  management  of  overall  manufacturing  systems

*  Chapters  include  case  studies,  sample  problems,  and  suggested  exercises

*  Instructor  support  includes  electronic  copies  of  the  figures  and  an  instructor\'s  manual

Graduate-level  students  and  industrial  practitioners  will  benefit  from  the  detailed  exami?nation  of  how  electronic  materials  and  supplies  are  converted  into  finished  integrated  circuits  and  electronic  products  in  a  high-volume  manufacturing  environment.

An  Instructor\'s  Manual  presenting  detailed  solutions  to  all  the  problems  in  the  book  is  available  from  the  Wiley  editorial  department.

An  Instructor  Support  FTP  site  is  also  available.