石英晶体膜厚检测、控制原理
文档解析
这份文件是关于INFICON公司膜厚控制仪的工作原理和组件的详细介绍。膜厚控制仪是一种利用石英晶体压电效应来测量膜厚的高精度设备，广泛应用于各种工业领域。其核心组件包括真空室、探头、振荡包、控制电压以及晶片等。通过测量石英晶体振荡频率的变化，可以精确地转换出膜的厚度。文件中还提到了INFICON的专利技术ModelockTM，该技术通过数字合成频率施加给晶片，并测量施加的电压与电流的相位差，从而连续锁定在基准频率上，排除了频率跳跃及其造成的误差，显著提高了测量的精度和晶片的使用寿命。此外，还介绍了AutoZ技术，它能够自动检测声阻抗率，为未知Z比率的镀膜材料或共镀膜提供了解决方案。最后，文件还展示了膜厚控制仪的工作流程和控制流程，说明了其在镀膜过程中的实时监控和调节功能。
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