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基于线阵CCD 的全息光栅位移自动测量系统的研制与开发

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标签: 全息

全息

光栅

光栅

位移

位移

自动

自动

自动测量

自动测量

                      提出了一种新型的基于线阵CCD  的全息光栅位移传感器,该系统利用线阵CCD  分辨率高、像素均匀等特点,对干涉条纹的移动进行精确定位,全息光栅在测量过程中具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点,实现了位移的自动精确测量。给出了系统误差分析及结果数据,经实验,系统稳定可靠,精度高。关键词:  线阵CCD  ;  全息光栅;  位移传感器Abstract  :  A  kind  of  new  holographic  grating  displacement  sensor  based  on  the  linear  CCD  is  made.  This  system  carry  out  accurate  location  to  interference  stripe  movement  using  high  resolution  capacity  and  resembles  plain  in  color  characteristic  of  CCD.  Holographic  grating  do  not  receive  influence  of  the  wavelength  of  light  source  in  measuring  course  ,  suitable  spectrum  scope  wide.  The  auto2accurate  measurement  of  displacement  was  realized.  The  system  error  analysis  and  result  data  is  given.  The  system  is  steady  and  reliable  by  experiment  .Key  words  :  linear  CCD  ;  holographic  grating  ;  displacement  sensor

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