微电子行业入门通用教材

目  录 第一章  半导体的基础知识 1-1半导体的一些基本概念 1-1-1什么是半导体？……………………………………………………4 1-1-2  半导体的基本特性……………………………………………….  .4 1-1-3  半导体的分类……………………………………………………...4 1-1-4  N型半导体和P型半导体……………………………………….5 1-1-5  半导体的导电机构……………………………………………….6 1-2  P-N结………………………………………………………………………9 1-2-1  P-N结的构成…………………………………………………….9 1-2-2  P-N结内的载流子运动和平衡…………………………………10 1-2-3  P-N结的基本特性………………………………………………10 1-3  二极管………………………………………………………...……………12 1-3-1  二极管的基本构成………………………………………………..12 1-3-2  二极管的特性曲线（伏安特性）………………...…………….12 1-3-3  二极管的分类……………………………………………………13 1-4  晶体管（仅讲双极型）……………………………………………………13 1-4-1  晶体管的构成…………………………………………………….13 1-4-2  晶体管的放大原理……………………………………………….15 1-4-3  晶体管的特性曲线……………………………………………….18 1-4-4  晶体管的分类…………………………………………………….21 1-4-5  晶体管的主要电参数…………………………………………….21 第二章  晶体管制造工艺与原理 2-1  典型产品工艺流程……………………..…...………………………………24 2-1-1  晶体管的基本工艺流程…………………………………………..24 2-1-2  典型产品的工艺流程…………………………………...…………24 2-2  晶体管制造主要工艺的作用与原理……………...………………………..25 2-2-1  氧化工艺…………………………………………………………..25 2-2-2  扩散工艺…………………………………………………………..26 2-2-3  离子注入工艺……………………………………………………..30 2-2-4  光刻工艺…………………………………………………………..31 2-2-5  蒸发（真空镀膜）工艺…………………………………………..32 2-2-6  CVD工艺…………………………………………………………..33 2-2-7  台面工艺…………………………………………………………..34 2-2-8  三扩、磨抛工艺…………………………………………………..35 2-2-9  清洗工艺…………………………………………………………..36 2-2-10  中测、划片工艺…………………………………………………36 2-3  常见的工艺质量问题以及对产品质量的影响……………………………….37 2-3-1  工艺质量问题分类…………………………………………………37 2-3-2  常见的工艺质量问题举例…………………………………………37 2-4  工艺纪律和工艺卫生的重要性……………………………………………….41 2-4-1  半导体生产对空气洁净度的要求…………………………………41 2-4-2  工艺卫生的内涵…………………………………………………..42 2-4-3  工艺卫生好坏对半导体生产的影响……………………………..42 2-4-4  工艺纪律的内涵…………………………………………………..43 2-4-5  工艺纪律的重要性………………………………………………..43