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半导体材料与工艺之单晶半导体材料制备技术方案.ppt

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标签：芯片

半导体材料与工艺之单晶半导体材料制备技术方案

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这份文档详细介绍了单晶半导体材料的制备技术，包括布里奇曼法、直拉生长Czochralski法和区熔生长法。文档首先回顾了Czochralski法的发明者Jan Czochralski的生平和该方法在半导体工业中的重要性。接着，文档展示了Bridgman法和Czochralski装置的图片，并详细阐述了Bridgman法的两种形式：水平Bridgman法和垂直Bridgman法，包括它们的工作原理、适用材料以及优缺点。此外，文档还讨论了区熔生长法，特别是悬浮区熔法，包括其设备、生长过程、掺杂方法和可能遇到的问题。直拉生长工艺的介绍涵盖了设备、热场配置、温度梯度对晶体生长的影响以及工艺流程。最后，文档还提到了化合物半导体晶体的生长，特别是砷化镓单晶的生长工艺。整个文档是针对单晶半导体材料制备技术的全面概述，适合专业人士和学生参考学习。

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