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集成电路制造工艺状态的表达与跟踪监控

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  • 日期: 2013-09-16
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标签: 集成电路

是一种微型电子器件或部件。把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构;其中所有元件在结构上已组成一个整体,使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高可靠性方面迈进了一大步。

制造工艺

制造工艺

跟踪监控

跟踪监控

文章提出了对PCM  参数进行正交化而建立起一套广义参数,  再以广义参数为基础构建工艺状态空间的技术。在工艺状态空间中,  作为工艺结果的测试值集的数据分布为多维椭球体;  该椭球体随生产的进行而呈现出连续性的形变,  因此,  跟踪这种形变,  就实现了对工艺状态的监控。提出了将特定批次工艺状态与参照态进行状态比较的相似度指标计算公式,  在多维空间中实现了整体性的统计工艺控制(  SPC)  。进一步地,  由于状态空间中各坐标基矢的特定指向与工艺失效因素一一对应,  对失效工艺的诊断与纠正也变得易于进行

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