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精密光栅位移传感器的若干信号处理问题研究
光栅传感器是一类精密传感器, 在直线位移或角位移的测量中有广泛的应用。但在工业应用中, 除各种电磁干扰外, 还有微小机械振动产生的干扰以及温度误差等, 使测量精度大大下降。本文提出了在后续处理电路和信号处理方法上解决这一问题, 提高传感器精度、分辨率和抗干扰能力的综合方法, 如分频、温度补偿、定时器飞读和计数脉冲确认机制等。在实际使用中发现, 应用这些方法的测量系统的稳定性、抗干扰能力和精度等指标都得到提高。关键词: 光栅: 位移传感器; 信号处理; 干扰
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