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硅基光波导压力传感器

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标签: 硅基光波导压力传感器

硅基光波导压力传感器

硅基光波导压力传感器由于具有灵敏度高、耐高温、抗电磁场干扰能力强、微型等优点,特别适合于在特殊环境中的应用。简要介绍了全反射光波导和抗共振反射光波导压力传感器的结构特点、工作原理及其研究现状。关键词:  压力传感器;  硅;  光波导;  抗共振反射Abstract  :  Si2based  optical  waveguide  pressure  sensors  can  be  applied  in  special  environment  because  of  their  high  sensitivity  ,  ability  to  withstand  high  temperature  ,immunity  to  electromagnetic  interference  and  miniaturization.  The  structures  ,characteristics  ,  operating  principles  and  researches  about  Si2based  total  reflecting  optical  waveg2  uide  and  antiresonant  reflecting  optical  waveguide  pressure  sensors  are  briefly  introduced.Key  words  :  pressure  sensors  ;  silicon  ;  optical  waveguide  ;  antiresonant  reflecting

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