1、问:为什么有些ESD 地线有阻抗而有些没有呢?答:ESD地线的目的是将一导电面连接到与电源地等电位的地方, “硬地”是用不具有附加电阻的地线直接连接到地的;电源地与公共点接点之间的电阻基本为0Ω。“软地”是具有内部串联电阻的地线,典型值为1M,这样设计的目的是限制当操作者暴露在110V和最大250V的环境中时可能产生的伤害电流。ESD联合会ANEOS/ESD S6.1—1991 建议用“硬地”方式使ESD 台面或者地板垫子接地。2、问:我常穿一只防静电鞋,但常被告之两脚都要穿,为什么?答:防静电鞋仅在穿戴正确并且要与导电地板或消耗地连在一起时才起作用。行走是摩擦生电的一个极好的例子。若你正确使用防静电鞋,且与ESD 地板紧密连接,那么你身上的电荷泄入到地。因此,你与地之间构成的网络在电压上是相同的,但你一抬起穿有防静电鞋的脚,你就会再次充电,要么从你的衣服感应,要么因为摩擦和抬脚而产生摩擦电。若你穿有两只防静电鞋,你就会进一步大大减小比几伏电压高得多的净电荷的机会(典型值为2000—5000V),因为你处于接地状态时间延长了,所以建议在靠近运动物体时,务必穿一双防静电鞋。3、问:需要在机器与地间连接1M电阻吗?答:不需要。参照生产厂商在机器或设备方面接地的要求可知,1M 电阻是用于保护人体的,参考以下的问题。旁注:将所有靠近ESD 敏感工作站的孤立导体接地都是有好处的。可使意外的电场或电荷积累减至最小。4、问:1M 电阻在半导体装配过程中的作用是什么?答:假设1:我们正谈论ESD控制问题;假设2:人体与半导体及带有半导体的器件接触,在防静电腕、防静电鞋、拉链、地线等地方均可发现1M串联电阻,其作用是限制可通过人体的电流量,保护人体安全。1M 电阻的主要限定要求是:在250V交流有效值时,电流被限制到250 微安,正好是大多数人的感知水平(神经系统发生反射的临界值)。电流在休表及体内物理感知的不同取决于人体大小、重量、水份、皮肤条件等。
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