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V2Q5薄膜用作SO2气敏传感器

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标签: V2Q5薄膜用作SO2气敏传感器

V2Q5薄膜用作SO2气敏传感器

在O2,Ar气氛中,用射频磁控溅射法在常温下溅射V2O5粉末耙得到氧化钒薄膜。

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