分析和讨论了激光反馈干涉现象,根据半导体激光器的反馈干涉理论,研究了反馈干涉模型及其信号的调制和解调方法,介绍了典型的传感应用。理论和实验表明,激光反馈干涉的理论不同于传统干涉,信号处理方法也有其特点。半导体激光器的光学反馈干涉系统具有结构简单、光路易准直、无需附加器件的特点,因而能够发展成小型、在线测量和过程控制的传感器,测量距离、位移和速度,在微机械、光学工程等领域具有应用前景。“激光反馈效应”即“激光自混合”是将入射在外反射表面的光部分返回,并耦合到内激光腔。重新注入的激光与激光腔内的光混合,引起输出功率变化和频率变化,形成外光学反馈效应。半导体激光器(LD) 的光学反馈效应会产生跳模,频率不稳定或者混沌,增加噪声,加宽谱线,一直认为是严重影响激光光谱性质的干扰源[ 1～4 ] 。因此,光学反馈降低了光通信和光存储系统的性能。自20 世纪80 年代以来,激光器的光学反馈效应开始得到应用。激光反馈干涉,即“激光自混合干涉”是反馈效应产生的干涉。在激光反馈干涉信号中,位相和振幅的变化与外腔的光程及外反射表面有关,这个性质被用于各种传感应用,如测量速度[5 ] 、长度[6 ] 、位移或振动[7 ] 。
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