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薄膜材料成分分析方法
到目前为止,对薄膜结构和成分分析的研究方法已达一百多种。但它们具有共同的特征:利用一种探测束——如电子束、离子束、光子束、中性粒子束等,从样品中发射或散射粒子波,他们可以是电子、离子、中性粒子、光子或声波,检测这些粒子的能量、动量、荷质比、束流强度等特性,或波的频率、方向、强度、偏振等情况,来分析材料化学组成、原子结构、原子状态、电子状态等方面的信息。
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