激光干涉仪阶梯(向量)对角线测试

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2013-12-06
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标签：激光干涉仪阶梯向量对角线测试

本文描述了在两台立式加工中心上完成的一系列线性位置精度测量结果，本项研究工作的范围是验证或反驳某些近来宣称的对角线测量和”激光矢量对角线”或”阶梯对角线”测量方法具有局限性。

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