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空间微机电系统的研究与进展

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标签: 空间微机电系统的研究与进展

空间微机电系统的研究与进展

介绍了微机电系统的基本原理及其在空间应用的发展概况,  着重介绍了空间微传感器、微执行器、RF2M  EM  S、MO  EM  S、微仪器和微ö纳卫星的研究与进展情况。关键词:  微机电系统;  微卫星;  空间应用Abstract:  The  basal  p  rincip  les  and  space  app  lict  ions  ofM  icroM  echanical  System  s  are  int  roduced.  The  detailed  status  in  the  research  and  development  of  m  icro  senso  rs,  m  icro  actuato  rs,  RF2M  EM  S,  MO  SEM  S,  m  icro  devices  and  m  icroönano  satellites  are  p  resented.Key  words:  M  icro  Elect  roM  echanical  System  s;  m  icro  sats;  space  app  licat  ion

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