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基于全息光栅的CCD位移传感器

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标签: 基于全息光栅的CCD位移传感器

基于全息光栅的CCD位移传感器

提出了一种新型的基于全息光栅的CCD  位移传感器,该系统利用CCD  分辨力高、像素均匀等特点,对干涉条纹的移动进行精确定位,而且全息光栅在测量过程中又具有不受光源波长的影响、适用光谱范围宽等特点,实现了位移的自动精确测量。该系统具有一定的实用价值及应用前景。关键词:线阵CCD  ;  全息光栅;  位移传感器Abstract  :A  kind  of  new  CCD  displacement  sensor  based  on  holographic  grating  is  made.  This  system  carry  out  accurate  location  to  interfering  stripe  moving  using  high  resolution  capacity  and  resembles  plain  in  color  character2  istic  of  CCD  ,moreover  ,holographic  grating  have  do  not  receive  the  wavelength  of  light  source  influence  in  mea2  suring  course  ,  suitable  spectrum  scope  wide  etc.  characteristic  ,the  auto2accurate  measure  of  displacement  is  real2  ized.  This  system  has  certain  practical  value  and  application  prospect  .Key  words  :linear  CCD  ;  holographic  grating  ;  displacement  sensor

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