文档解析
泰克微机电系统（MEMS）测试技术是一种先进的集成测试解决方案，它将传感器、微处理器和信号处理与控制技术融合在CMOS工艺中，有效缩小了系统体积。MEMS测试的难点在于其对电流、电容和电阻的高精度测量需求。泰克提供的测试设备4200A-SCS，配备SMU模块和CVU模块，能够实现直流测试和CV测试的集成化，具有多卡槽灵活配置测试模块的优势。该系统能够进行最小电流测试精度达到10fA，最大电压测试达到210V，电容测试量程从1pF到1uF。泰克的测试系统还具备Clarius图形化操作软件，简化了测试配置过程，并通过丰富的测试库减少了试配时间。此外，系统还附带教学视频和多语言版本，支持用户边学边用。为了满足自动化和高密度测试的需求，泰克还提供了多种切换开关和低漏电矩阵开关，以及开放的设备底层指令和编译软件，支持用户自编程，确保了测试的灵活性和扩展性。
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