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380kV/10mA直流高压电源的研制

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标签: 380kV

380kV

10mA直流高压电源的研制

380kV

380kV/10mA直流高压电源的研制::介绍了一种用于离子注入机的380kV直流高压电源的电路原理及实现方法。基于高压电源在电压变得越来越高时会由于电场分布不均匀等问题容易导致电源自身的放电打火等问题,提出了一种更为优化的高压倍压方案。关键词:高压;离子加速;对称倍压;均压环Abstract:  A  mathod  to  realize  380kV  high  voltage  of  the  ion  implanters  DC  high  voltage  power  is  proposed.  Considering  the  electric  discharge  is  easy  to  happen  beause  the  electric  field  intensity  isn忆t  uniform  when  the  voltage  of  high  voltage  power  supply  bencome  higher  and  higher,  an  optimization  design  for  the  high  voltage  circuit  is  presented.Keywords:  high  voltage  ion  accelerate  double  voltage  counterbalancing  ring

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