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光电位置传感器PSD特性及其应用

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标签: 光电位置传感器PSD特性及其应用

光电位置传感器PSD特性及其应用

对光电位置传感器PSD  的结构、工作原理、特性进行了分析和概述;  并介绍了PSD  在二维定位测量中的应用;  最后分析了造成系统误差的主要原因。关键词:  位置传感器;  光电器件Abstract:  The  arch  itectu  re,  p  rincip  le  and  characters  of  po  sit  ion  sen  sit  ive  detecto  r  are  analyzed  and  ou  t  lined  in  the  paper.  The  app  licat  ion  of  PSD  in  two2dim  en  sion  po  sit  ion  m  easu  rem  en  t  is  in  t  roduced.  The  system  erro  rs  are  also  analyzed.Key  words:  po  sit  ion  sen  sit  ive  detecto  r,  op  toelect  ron  ic  device

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