先行分离直行运动误差的二次相移三点法

现代检测与补偿技术越来越要求测量的高精度和实时性,  通过直接获取运动误差以避免误差残留的二次相移三点法,  为运动误差的在线高精度检测提供了一条有效途径.  通过对3  个传感器的测量数据按照二次相移原则进行数据重组,  在数据处理的首次操作时消除直线形状误差的影响,  从而在反滤波基础上可以先行分离出直行运动误差的平移分量和转动分量.  利用权函数对比分析,  证明了二次相移三点法与先行分离形状误差的直线频域三点法在本质上的同源性和统一性.  实验结果表明,  该方法可以较好地分离出直行运动误差和直线形状误差.关键词:  二次相移三点法;  误差分离技术;  映射矩阵;  反滤波;  直行运动误差Abs  tra  c  t:  To  imp  lem  en  t  h  igh2p  recision  and  on2linem  easu  rem  en  t  of  linearmo  t  ion  erro  rs,  a  novel  erro  r  sep2  arat  ion  techn  ique  (EST  )  m  ethod  nam  ed  quadrat  ic  phase  sh  if  t  th  ree2po  in  t  m  ethod  w  as  p  ropo  sed,  w  h  ich  is  based  on  the  data  recon  st  ruct  ion  and  inverse  f  iltering.  A  cco  rding  to  the  p  rincip  le  of  quadrat  ic  phase  sh  if  t,  the  data  f  rom  th  ree  p  robes  are  recon  st  ructed,  and  the  inf  luence  of  fo  rm  erro  r  can  be  elim  inated,  so  the  lin2  ear  erro  r  mo  t  ion  can  be  separated  and  gained  f  irst  ly  on  the  basis  of  inverse  f  iltering.  Comparat  ive  analysis  of  the  w  eigh  t  ing  funct  ion  p  roves  the  homo  logy  and  un  itarity  betw  een  the  common  f  requency  th  ree2po  in  t  m  ethod  and  the  p  ropo  sed  m  ethod.  Sat  isfacto  ry  effect  s  w  ere  ach  ieved  by  som  e  experim  en  t  s.  Ke  y  w  o  rds:  quadrat  ic  phase  sh  if  t  th  ree2po  in  t  m  ethod;  erro  r  separat  ion  techn  iques  (EST  )  ;  m  app  ing  m  a2  t  rix;  inverse  f  iltering;  linear  mo  t  ion  erro  r