Substrate Isolation in 0.18um

                        Rezvani_6_5Substrate  Isolation  in  0.18um  CMOS  TechnologyG.  Ali  Rezvani  and  Jon  TaoRF  Micro  Devices  2191  Zanker  Rd.  San  Jose  CA  951311Outline1-  Introduction  2-  Method  of  study  3-  Coupling  within  Psub  with  Pwell  4-  Impact  of  P+  Guard  Ring  5-  Impact  of  Deep  Nwell  6-  Impact  separation  of  Deep  Nwells  7-  Comparison  with  SOI  8-  Conclusion21-  Introduction  CMOS  Scaling  resulted  in  high  performance  MOSFETs  for  RF  applications.    Lower  cost  of  CMOS  processing  resulted  in  need  for  integration  of  RF,  Analog,  and  Digital  on  the  same  die.  (SOC)    Three  types  of  coupling  among  various  blocks  may  become  issues  the  way  to  SOC:  A-  Coupling  thru  Vdd  and  Vss  B-  Coupling  thru  Substrate  C-  Coupling  thru  Radiation    Substrate  Coupling  is  the  subject  of  this  talk31-  Introduction    The  purpose  of  this  study  has  b……