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一种高精度微量气体泄漏检测仪的设计与研究

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标签: 一种高精度微量气体泄漏检测仪的设计与研究

一种高精度微量气体泄漏检测仪的设计与研究

密封器件气密性检测是一项重要的安全检测之一,  这里采用微差压原理,  利用高精度差压传感器、精密对称气路和单片机测控系统组成测试装置,  实现了对一定容积和压力下密封器件气密性的高精度检测。介绍了该检测仪的工作原理、硬件软件结构和系统性能。关键词 微差压原理 高精度 传感器 气体泄漏检测仪Abstract A  irp  roof  component  airt  igh  t  detect  ion  is  one  of  impo  rtant  safety  detect  ions.  In  th  is  paper,  the  device  is  int  roduced,wh  ich  compo  sed  of  h  igh2p  recision  m  icro  different  ial  p  ressure  senso  r,  rigid  symmet  ry  air  p  ipe  loop  and  m  icroch  ip  system  by  using  m  icro  different  ial  p  ressure  p  rincip  le,  realizing  airp  roof  component’s  h  igh2p  recision  airp  roof  detect  ion  under  certain  p  ressure  and  cubage.  The  p  rincip  le,  the  hardware  and  software  const  ruct  ion  and  it  s  perfo  rmance  are  discussed.Key  words M  icro  different  ial  p  ressure  p  rincip  le H  igh  p  recision Senso  r A  ir2leakage  detecto  r

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