提高微压传感器灵敏度的深盆腔压力膜片研究( 二)

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2013-09-22
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标签：提高传感器灵敏度盆腔压力

ANSYS - 5. 7 被用来进行有限元分析。首先根据硅微机械技术的特点对3 种膜片进行建模。图2 (a)中的平膜没有什么特殊性,但图2 (b) 和图2 (c) 的波纹膜和深盆腔膜则有一定的形状要求。统一将3 种膜的水平面积固定为1 ×1 (mm2) ,其中对波纹膜只在图中显示了1/ 4 面积。膜厚都选表面微机械薄膜的典型值为1. 2μm. 考虑波纹膜和盆腔膜的形成很可能要在各向异性腐蚀的硅上生长,故确定了图中54. 74°的角度。对于方膜上波纹的排布和波纹深度,

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