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超大规模集成电路铜互连电镀工艺

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标签: 超大规模集成电路铜互连电镀工艺

超大规模集成电路铜互连电镀工艺

超大规模集成电路铜互连电镀工艺曾磊  1,张卫2,汪礼康21.罗门哈斯电子材料(上海)有限公司2.复旦大学微电子研究院,复旦-诺发互连研究中心摘要:介绍了集成电路铜互连双嵌入式工艺和电镀铜的原理;有机添加剂在电镀铜中的重要作用及对添加剂含量的监测技术;脉冲电镀和化学电镀在铜互连技术中的应用;以及铜互连电镀工艺的发展动态。关键词:集成电路,铜互连,电镀,阻挡层

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