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多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构

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标签: 多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构

多光束纳秒紫外激光制作硅表面微结构

                该研究是改变硅表面微结构,  优化硅材料特性的一种新方法,  并扩展了大功率激光刻蚀在表面微加工领域的应用.

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