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利用MEMS技术制作无线通信用RF元件

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标签: 利用MEMS技术制作无线通信用RF元件

利用MEMS技术制作无线通信用RF元件

本文介绍了高频无线通信不可或缺的关键性元件,FBAR  滤波器(filter)、RF-MEMS  开关(switch),以及MEMS  可变电容器的制作技术。

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