热搜关键词: 电路基础ADC数字信号处理封装库PLC

pdf

基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究

  • 1星
  • 2013-09-20
  • 130.95KB
  • 需要1积分
  • 0次下载
标签: 基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究

基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究

针对半导体扩散炉温度控制问题,提出采用RBF  神经网络控制方法。RBF  神经网络采用3-8-3  结构。建模表明,此RBF  网络数学模型具有良好的控制品质。关键词:半导体扩散炉;RBF  神经网络;PID  温度控制Study  on  Semiconductor  Diffuse  Furnace  Temperature  Control  Mondeling  Based  on  RBF  NNCAI  Bing1,2,  HU  Rong-yu1,  Wang  Pei-yuan1,  LIU  Chuan-qing1  (1.Department  of  Physics  &  Electronic  Information  Technology,  XiangFan  University  ,  HuBeiXiangFan  441053,  China;  2.Department  of  Control  Science  and  Engineering,  Huazhong  University  of  Science  and  Technology,  Wuhan  430074,  China)  Abstract:  According  to  the  problem  of  temperature  control  of  semiconductor  diffuse  furnace,  an  new  control  approach  is  described  in  the  paper,  such  as  RBF  NN.  the  RBF  NN  construct  is3-8-3,simulation  results  show  that  control  method  has  high  quality.Keywords:  Semiconductor  Diffuse  Kiln;  RBF  NN;  PIDTemperature  Control

展开预览

猜您喜欢

评论

登录/注册

意见反馈

求资源

回顶部

推荐内容

热门活动

热门器件

随便看看

 
EEWorld订阅号

 
EEWorld服务号

 
汽车开发圈

电子工程世界版权所有 京B2-20211791 京ICP备10001474号-1 电信业务审批[2006]字第258号函 京公网安备 11010802033920号 Copyright © 2005-2024 EEWORLD.com.cn, Inc. All rights reserved
×