阳极键合工艺进展及其在微传感器中的应用

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标签：阳极键合工艺进展及其在微传感器中的应用

分析了阳极键合技术的原理和当前阳极键合技术的研究进展,综述了微传感器对阳极键合的新需求,展望了阳极键合技术在传感器领域的应用前景。关键词:阳极键合; 传感器; 硅片

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