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多晶硅制备详细流程及图解
要把冶金硅变成半导体硅或太阳级硅,显然不可能在保持固态的状态下提纯,而必须把冶金硅变成含硅的气体,先通过分馏与吸附等方法对气体提纯,然后再把高纯的硅源的气体通过化学气相沉积(CVD)的方法转化成为多晶硅。目前生产制造高纯多晶硅的办法,主要有三大流派,即:① 用SIMENS法(又称SiHCI3法)生产多晶硅棒;② 用ASiMi法(又称SiH 法)生产多晶硅棒:③ 利用Sil 硅源制造颗粒状多晶硅。
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