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Ultra-Thin Body SOI MOSFET交流特性分析

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  • 2013-09-22
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标签: MOSFET

MOSFET

详细分析了UTB  结构的交流特性.  通过分析UTB  SOI  器件的硅膜厚度、侧墙宽度等结构参数对器件交流特性的影响,对器件结构进行了优化.  最终针对UTB  SOI  MOSFET结构提出了一种缓解速度和功耗特性优化之间矛盾的方法,从而实现了结构参数的优化选取,使UTB  SOI  MOSFET器件的应用空间更为广泛.

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