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Semiconductor
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Physics
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半导体器件物理与工艺的主要内容:第一章 能带与载流子浓度第二章 载流子输运现象第三章 p-n结第四章 双极型器件第五章 单极型器件第六章 微波器件第七章 光电子器件第八章 晶体生长与外延第九章 氧化与薄膜淀积第十章 扩散与离子注入第十一章 光刻——图形曝光与刻蚀第十二章 集成器件
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