Photonic MEMS Devices: Design, Fabrication and Control

《Photonic  MEMS  Devices:  Design,  Fabrication  and  Control》

作者：Ai-Qun  Liu

摘要：Photonic  MEMS  devices  represent  the  next  major  breakthrough  in  the  silicon  revolution.  While  many  quality  resources  exist  on  the  optic  and  photonic  aspect  of  device  physics,  today’s  researchers  are  in  need  of  a  reference  that  goes  beyond  to  include  all  aspects  of  engineering  innovation.  An  extension  on  traditional  design  and  analysis,  Photonic  MEMS  Devices:  Design,  Fabrication,  and  Control  describes  a  broad  range  of  optical  and  photonic  devices,  from  MEMS  optical  switches  and  bandgap  crystal  switches  to  optical  variable  attenuators  (VOA)  and  injection  locked  tunable  lasers.  It  deals  rigorously  with  all  these  technologies  at  a  fundamental  level,  systematically  introducing  critical  nomenclature.  Each  chapter  also  provides  analysis  techniques,  equations,  and  experimental  results.  The  book  focuses  not  only  on  traditional  design  analysis,  but  also  provides  extensive  background  on  realistic  simulation  and  fabrication  processes.  With  a  clear  attention  to  experimental  relevance,  this  book  provides  the  fundamental  knowledge  needed  to  take  the  next-step  in  integrating  photonic  MEMS  devices  into  commercial  products  and  technology.