文档解析
《The Parametric Measurement Handbook》第三版是一本由Agilent Technologies出版的专业手册，专注于参数测试的基础知识和高级技术。这本手册详细介绍了参数测试的基本概念，包括测量术语、准确性与重复性、分辨率和测量可追溯性。它还涵盖了屏蔽和防护技术，以及在低电流测量中的重要性。
手册深入探讨了源/监控单元（SMU）的基本原理，包括操作模式、设置和安全问题。此外，还讨论了晶圆级参数测量的挑战，如晶圆探针的隔离问题和在不同温度下的测量问题。对于高速测量，手册介绍了并行测量、时间采样和脉冲IV测量技术。
在电容器测量方面，提供了关于MOSFET电容测量的详细讨论，包括准静态电容测量技术和高频电容测量方法。此外，还介绍了二极管和晶体管的测量方法，包括PN结二极管和MOSFET的操作和特性。
手册还包括了有关Agilent Technologies的参数测量解决方案的附录，提供了半导体参数/器件分析仪、功率器件分析仪、模块化源/监控单元、台式源/测量单元、开关矩阵和阻抗分析仪的概述。此外，还提供了有关晶圆电容测量解决方案和应用笔记参考的信息。
总的来说，这本手册是一个全面的资源，为工程师和技术专业人员提供了在半导体行业中进行参数测试所需的深入知识和实用指导。
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