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集成电路的制造工艺

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标签: 集成电路

集成电路

集成电路的制造工艺集成电路的制造工艺

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文档解析

这份PPT文档是关于集成电路(IC)制造工艺的详细介绍。文档从IC设计人员的角度出发,强调了即使设计人员不直接参与工艺流程,了解制造工艺的基本原理和过程对于设计工作也是极其有益的。介绍了代工模式,即芯片设计和制造分离的现象,以及PDK(工艺设计套件)在设计过程中的重要性。PDK文件包含了用于电路模拟的参数、版图设计规则等重要信息。

文档接着详细描述了IC设计的流程,包括电路设计、仿真、优化、版图设计以及设计规则检查等步骤,最终生成GDS-II格式的版图文件。然后,代工单位根据版图数据制作掩模,并进行流片,将设计图形转移到芯片上。设计单位还需对芯片进行参数测试和性能评估,确保产品符合技术要求。

此外,文档列举了国内外知名的代工(Foundry)厂家,并简要介绍了集成电路设计所需的知识范围,包括系统知识、电路知识、工具知识和工艺知识。最后,文档通过一系列工艺步骤的介绍,展示了IC制造的复杂性,包括硅片检测、初氧、PWELL注入、腐蚀SiO2、基氧、栅氧化、多晶沉积等关键步骤,以及后续的金属化过程和最终的保护层形成。

整体而言,这份文档为读者提供了集成电路制造工艺的全面视角,从设计到制造的各个环节,以及所需知识和技能的概览。

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