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集成电路制造工艺课件

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标签：集成电路

集成电路制造工艺课件

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这份PPT文档详细介绍了集成电路的制造工艺，包括微电子技术的发展历史、集成电路设计与制造的主要流程、以及具体的工艺技术。文档从1947年晶体管的发明讲起，经过50年代的晶体管时代，到80年代VLSI技术的发展，展示了半导体技术如何推动信息产业成为全球经济的支柱。重点介绍了集成电路制造中的关键技术，如超微细加工技术、铜互连技术、SiGe材料的应用，以及图形转换、掺杂、制膜等工艺步骤。同时，还探讨了CMOS集成电路的制造流程，包括N阱和P阱的形成、多晶硅栅的制备、源漏区的形成、接触孔的制作以及金属互连的构建。此外，文档还涉及了双极集成电路的制造工艺、隔离技术、接触与互连问题，以及Salicide工艺和集成电路的封装工艺。最后，文档以集成电路工艺的小结和作业要求结束，要求设计NMOSFET的工艺流程并撰写课程感想。整体而言，这份文档为读者提供了集成电路制造领域的全面技术概览。

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