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基于有限元接触变形的光波导三向力触觉传感系统

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基于有限元接触变形的光波导三向力触觉传感系统

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第2卷第3  
报 
基 于有 限 元 接触 变 ½ 的光 波导 三 向 力触 觉 传 感 系统 
刘 嘉敏
½ 英俊
重庆
乔 生 仁 
40 4 )
0 0 4 
( 庆 大 学 光 电工 程 学 院
摘要
通 过 有 限 元 分 析 方 法 对 一 种 新 型 光 波 导 三 向力 触 觉 传 感 系统 进 行理 论 探 讨 和 仿 真 实 验 , 出 相 应 的 数 学 模 型 . 设 计 
专 1的 实 验 传 感 系统 。实 验 数 据 结 果 验 证 了理 论 分 析 ,
½
从而 在理 论 和 实 验 上证 明 了 该 新 型 光 波 导 三 向力 传 感 方 案 的 可行 性 。
 
关键词
自限元分析
光波 导
力传感
机器』 触觉 
O½ ½ ½   ½ ½- ½ ½½  
½½ ½ W ½ - ½ ½ T½½ ½- ½ ½ T½ ½½  ½ ½ ½ S ½ ½ ½ ½ ½ ½  
½
½ - ½  ½ ½½ S ½½ ½   ½ ½ ½  ½ ½   ½ FEA  ½ C½ -
½
½   ½-
 
½ ½   ½ ½ ½ ½½½  
½ ½D ½ ½
½½
L½ ½½½  P ½ Y½½ ½   Q½½S ½ ½ ½  
½ J½ ½
½   ½ ½½
½  ½ ½ ½½
( 、½C ½ ½  ½ O ½½½½½ ½½E½ ½½½½ C½ ½ ½½   ½.
Y½  ½½ ½½   ½ ½ ½½½½½  ½ ½ ½½½, ½ ½ ½½ U½½ 一C½ ½ ½½   0 0 4C½ ½ )
½
½ ½ ½½ 4 0 4 一 ½½  
A½ ½ ½ ½ W ½½ FEA  ½ ½ ½.½½ ½ ½ ½½ ½ ½½½    ½ ½½½   ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½½½½  ½ ½    ½ ½½ ½½  ½ —
½½½ 
½ 
½ ½ ½ ½ ½  ½ ½  ½ ½½   ½ ½ ½ ½½   ½½½ ½ ½½   ½ ½ ½
½½ ½ ½½ ½ ½½  ½½½ ½½½ ½  
½½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ , ½½ ½ ½ ½ ½     ½ ½ ½ ½ ½ ½   ½ ½ ½ ½ ½½  ½ ½  ½ ½ ½½ ½ ½ ½  
½½   ½ ½   ½ ½ ½ ½½ ½ ½½   ½ ½½ ½ ½ ½   ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½½ ½ ½½   ½½ ½½ ½ ½
 ½
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ . ½ ½ ½   ½ ½½ ½ ½ ½  ½½ ½½ ½  ½  ½½½ ½ ½½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½   ½ ½ ½ ½  ½  ½½ ½ ½½ ½
½ ½   ½½ ½ ½ ½ A  ½ ½½½ ½½½   ½ ½ ½ ½  ½ ½ ½ ½ ½ ½½   ½ ½ ½ ½ , ½  ½   ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ 
½
½ ½ ½ ½  ½ ½½ ½ ½½ .
½ ½ ½½ ½ ½ ½½ ½ ½ 
K½   ½ ½ F½ ½½ ½½ ½   ½ ½½ ½ O½ ½½  ½ ½ ½ ½   F½ ½   ½ ½ ½   R½ ½ ’  ½ ½½ 
½ ½½ ½  
½ ½  ½½ ½½½ ½½ ½
 
½½ ½½ ½   ½½½
½½½½ ½½
½ ½½ ½ ½ ½½
在 平 面 光 波 导 板 上 放 ½ 橡 胶 垫 , 胶 垫 与 波 导 板 接 触 
1 引 
言 
的 一 面 制 成 圆锥 或 半 圆球 阵列 , 胶 垫 不 受 外 力 时 ,
入 
射 光 因全 反 射 而 在 波 导 板 内传输 。½ 受到 外 力 F½ 用 
时 , 胶 垫 下 部 的 圆 锥或 半 圆球 触 头 阵列 将 产 生 ½ 变 .
 
在 压 痕 处 , 于 光 的 全 内反 射 条 件 遭 到 破 坏 而 产 生 光 
泄 漏 , 成 光 斑 . C 图 像 传 感 器 摄 取 此 光 斑 图 像 并 
½
C D
经 图像 卡 进 入 计 算 机 进 行 图 像 处 理 . 而 可 识 别 物 ½ 
的接 触 面 ½ 状 。 对 橡 胶 垫进 行 力学 分 析 . 得 到 外 力 
F与 光 斑 面 积 之 间 的 关 系 ,
则这 种 传 感 器 可 检 测 法 向 
力 的大 小 , 在 切 向力 的 检 测方 面 是 无 ½ 为力 的 。
½
 
智 ½ 机 器 人 的 发 展 对 传 感 器 提 出 了 越 来 越 高 的 技 
术 要 求 , 觉 传 感 ½ 为 机 器 人 的 主 要 传 感 方 式 之 一已
 
越 来 越 受 到 人 们 的关 注  。机 器 人 无论 是 抓 持 或 行 走 
均足三向力在发生½用 , 而在众多的触觉传感器中 ,
 
直 接 检 测 三 向力 具 有 较 』 的难 度 . 而 三 向 力 传 感 技 
½
术 的 开 发 研 究 仍 不 多 见  本 文 在 光 波 导 单 向 力 触 觉 传 
感 技 术 的 基 础 上, 出 了 一 新 型 的 光 波 导 三 向 力 触 
二提
觉 传 感 技 术 方 案 , 利 用 有 限 元方 法 分 析 了三 向 力 触 
觉 传 感 头 受 力 后 引起 半 圆 球 触 头 变 化 的情 况 , 立 起 
相 应 的 数 学 模 型 , 后通 过 实 验 数 据 对 该 三 向 力 的 计 
算 公 式 进 行 了验 证 。
 
2 传 感 系 统 工 ½ 原 理 
光 波 导 单 向 力触 觉 传 感 器 的 原 理 。如 图 1 示 
 
^ 
图 1 光 波 导 单 向 力触 觉 恃感 原理 
本 文 于 20 年 ½月 收 到  ½ 家 自然 科 学 基金 ( 98 0 7 资 助 项 目 。
01
67 5 0 )
 
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报 
第 23
  卷 
AN Y
S S的 高级 分 析 技 术 —— AP) 参 数 化设 计 语 言 ,
I 
 
通 过 建 立智 ½ 分 析 的 手段 自动 完 成 了繁 杂 而 费 时 的 有 
限元分析过程 。
 
3 1 非 线 性 有 限 单 元 法 求 解 原 理 
非 线性 问 题通 常 采 用增 最 分析 法 来求 解 。如 果把 
½ 用 的 ½½ 荷 描 述 为时 间 的 卣 数 . 物 ½ 有 限 元 离 散 系 
统 的 平 衡 方 程  ½ ½ I时 刻 可表 示 为 :
和 —A
 
P‘ ½一 0 P… ‘ ½ ‘ 0
 
一   =  
… 。
 
、 
【)
1 
 
式中
P—— ½ 刻 ½½ 荷 节 点 力 向量 
½
—— ½ 刻  单 元 麻 力 ½ 的 节  力 向 量 
以 ½时 刻 的解 为 已知 .
则有 :
 
½。 ½ ½ 1 【
。I  L
 
 
 
’1 光 
卅漏
_½ 洲
½_
 I
^ 
½一 ½
‘  
½ K 。 
½
()
2 
 
式 中  卜一
一½到 ½ △
一 ½时 间 问 隔 内 由 单元 内 应 力 增 量 
引 起 的  点 力增  向量 
K —— ½到 ½ △1 刻 材 料 和 几 ½ 条 件 的 切 向 
 
 
刚 度 矩 阵 
½
—— △
½时 间 问 隔 ½ 的 节 电½ 移 增 量 
由表达式()() 得 :
1 、 2 
 
K 
½— ½ ‘ ½
  一 ½
 
()
3 
图 2 光 波 导 型 二 同 力触 觉 传 感 系 统 
½
½ 光 波 导 型 单 向力触 觉 传 感 器 仅 ½ 测 量 ½ 加 于 
 于
橡 胶 垫 的 正  力 夫 小 的 局 限 性 , 文 提 出 了 一 技 术 
新 方 案 
, 图 2所 示 , 系 统 的 力 敏 元 件 由 硅 橡 胶 
制成 . 硅 橡 胶 垫 的 一 侧 制 ½ 圆 柱 触 头 阵 列 ( 2
图  
() , 其 另 一侧 制 ½ 半 圆球 触 头 阵列 , 得 每 个 圆 柱 
½)在
½
触 头 下 面 分 布 四个 半 圆 球 触 头 ( 2 ½ )
图 ( ) 。½ 圆柱 触 头 
受 外 力 F 图 2½ ) 用 时 . 应 的 四 个 半 圆 球 触 头 将 
() ½
受到 挤 压 ,
由于 光 波 导 路 中导 波 的 全 内反 射 条 件 遭 到 
破 坏 而 产 生 光 泄 漏 , 波 导 板 上 ½ 成 光 斑 
由于 三 个 方 
向分 力大 小 不 同 , 一 个 圆 柱 触 头 而 言 , 面 的 4个 半 
圆球 触 头 与 丙 烯 板 接 触 的 面 积 不 同 ,
因而 ½ 于 丙 烯 板 
另 一 面 的 CC 摄 像 机 所 摄 取 到 的 亮 斑 面 积 大 小 也 不 
相 同 . 图 3所 示 。
 
求 出 ½ 移 增 量 U即 可 算 出 ½ ½ 刻 的 ½ 移 :
+A 时
 
½
½ 一 U‘ ½
+  
(  
4)
由 ½  可 算 出 ½ △ 时 刻 的 应 力 及 ½ 和 K .
   
   
从 而 可 以 马 上 着 手进 行下 一步 的 迭 代 计 算  为 保 证 精 
度 , 取 足够 的选 代 次数 。这 里采 用 N½ ½ — ½ ½ ½
½½½ R½ ½ ½  
算法 :
 
K  . ½   ½
△½ 一 … 一  
½ 一 ½二
½
 
 + -  
½
()
5 
式中
½
—— 迭 代 步 数 
½ 初始值正是 ½ 刻的解 , :
即 
½+ = ½‘
½
 
 
½  = ½
_
 
()
6 
在 迭 代 过 程 中 ,= 随 ½ 增 加 而 逐 步 逼 近 P . 满 
½ 
‘ ½
每_
 
足给定的精度指标时 . 代终止。
 
本 文 利 用 N ½½½R ½ ½½算 法 进 行 求 解 , ½ 
½ ½—½½½
地 解 决 了非 线 性 问题 中 刚 悻 一 柔 ½ 、
 
面—— 面 之 间 
的接 触 问题 
3 2 有 限 元 模 型 
‘  
≯一
½ 然 . 终 研 究 对 象 是 圆柱 ½ 和 半 圆球 ½ 眭 头 的 
½
橡 胶 阵 列 , 考虑 到 在 一 情 况 下 .  之 间 的相 互 ½ 
½
角头
图 3 随外力而变化 的亮斑面积 
 
用较小 . ½略 不计 ,
所  , 要 以一 个 圆 柱 触 头 及 其 
下 面 的 四 ,半 圆球 触 头 为 研 究 对 象 。另 外 卫 考 虑 到 圆
½
 
柱触头 的中心对称性 . 及在 ½
½平 面 内 - 头 不 管 从 
几 ½ ½ 状 还 是 材 料 属 性 上 讲 , ½方 向 和 Y方 向 ½ 具 
有 完 全 的 ½ 换 对 称性 .
因此 为 ½ 限 元 分 析 简便 , 以
可  
把 半 圆 球 触 头 与光 波导 板 的接 触 问题 ½ 为二 维 平 面 变 
3 有限元分析: 
 
½
本 文 针 对 有 限 元 中 的 接 触 类 非 线 性 问 题 , 用 
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第 3期 
基 于 有 限 元 接 触 变½ 的 光 波 导 三 向 力 触 觉 传 感 系统 
F  (½ — ½ ) SL S + S   S )
一 ½ 
 ( 
— 2
  
 
F一( .
 
½  + ½ )( 十 S 一 ½。 ½, 
½
25
7 
( ½ 
7)
( ½)
7  
½ 问 题 分 析 ( 应 的 模 弛 如 图 4所 示 ) 由 于 半 球 型 橡 
胶触 头的对称性 ,
为简便计 .
½外 力 F 与 ½½平 行时 .
 
可½ 不 失 一 性 的 假 设 :   S
S 一 —S —S 本 文 采 用 
 
½   (   + ½) S 十 S + S +S )
F一 ½
½
  (        
( ½ 
7)
A D  言澄汁 ½ 段程序 . 仿真在不 同的 F 和 F
P I语
 
 
 
 
½ 用 F, 及 不 同 的 泊 松 比和 杨 氏模 量 对 接 触 变 ½ 的 
 
½ 响 
式中
½ 、 ,½ 、 ½ 和  —— 力的换 算 系数 
  ½、  ½、  
它 们 与材 料 的 其 它 属 眭及 固 柱 、 圆球 的 几 ½ 尺 
寸等 有 关 , 有 ½ 一½  ½一½ 成 立 
 
和   .
4 实 验 结 果 分 析 
为 ½从 实 验 上论 证 上 述 公 式 的 可 靠性 , ½ 了 上 
面为 圆柱 触头 、 面 为半 圆球 触 头 的 橡 胶 垫 ( 2
 
图  
() .½ 汁 ½圈 9所 示 的 实验 系统 避 系统 中外 力 标 
½ )½ 设
定 装 ½ 的 主 ½ 由 分 度 头 和 高精 度 测 力计 组 成 .
由于 橡 
胶 垫 ½ 圆 柞 和 半 圆 球 阵列 是 对 称 排 列 的 , 取 合 适 
的 X Y坐 标 , 认 为 F F 性 质 一 致 通 过 台力 分 解 的 
疗法 旋 ½ 分 度头  取 坐 标 ½ 加 F 与 F 的 合 力 ,
 
 
由分 
度 头 获 得 两 分 力 夹 角 0旋 ½ 微 调 螺 钉 ½ 加 台 力 F 从 
高 精 度 测 力 计 上 读 得 F的 大 小 ,
由此 可 计 算 出 F  
…F
为 方 便 叙 述 , S一S +S +½_S
令   .   。_  S -S -S+S
     
S ½ 则 表 示 橡 胶 触 头 阵列 中所 有 面 积 和 
 S
分 废 
图 9 实 验 系统 示 意 
41 F 与 ½
.  ½
½
 
在 仅 有 F ½ 田的 情 况 下 分 别 用硬 、 橡 胶 垫 进 行 
½
实 验 , 橡 胶 :  . 9 S R 一 0 93 , 橡 胶 : 
F 一2 ½ 4     . 9 7 ½
L 3 1  R 一 0 9 6 。 所 得 数 据 结 果 如 图 1
 7S½   . 9 8
0所 示 
可 见 F 与 S 始终 成 线 性 正 比关 系 . 且 相关 系 数均 大 
 
 
6 H有 F ½ 用 
 
 
图7 F
   和 F 同 时½ 用 
 
图 8 接 啦 部 分 变 ½ 前 后 对 比图 
 
½½
 
通 过  上分析 和 假 歧 . 合 线性 回 ½理 论 , 导 出
 
0 硬橡I ◆
½
½檬睦 
½ ½ 碰橡 胶) —— 线性 ,
 ̄ ½:
鞋橡 
外力 F的 ½个分量 F
…F、 
F 与四个光斑 的面积 S … 
…S 之 问 存 在 着 如 ½ 系 :
 
图 1  F 与 ½ 之 间 的关 系 
O  
 
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26
7 
0 
O 
 
O 
报 
第 2 卷 
 
于 0 9 , 而验 证 了式 ( ½ 
.9从
7)
42 F 与 ½
.  。
 
44 泊松比 ½
 
上述分 析 已表 明 F 、 
  F 分别 与 S、  线性正 比
 S 成
 
关系 . 妨假设对应系数分别 为 ½
…½, ½ 需 验 证 ½ 、
则 ½
 
½ 与  是 否成 线 性 关 系 
在 F 分 别取 I 和 2 的情 况下 用 硬 、 橡胶 垫进 
 
½
行 实验 , 橡 胶 (  1 :  1 9 98 :  . 9 ;
N)F = . 54 。R =O 9 2 硬 
橡 胶 (  N)F = 1 9 6 R =0 9 4 ;
F 竺2 :  . 58   . 7 9 ½橡 胶 (   
F=
1 :  15 58 ;   0 9 4 ; 橡 胶 (   2 :  
N)F 一 . 6 8 R = . 8 9 ½
F = N) F
= 15 9 8:   . 7 9
. 5 4  R 一0 9 7 。所得 数 据结 果 如 图 ½ 所 示 :
½
 
可 见不论 F
 如 ½变 化 ,
始终与 S
 成线 性 正 比关 系  且 
平 均相 关系 数大 于 0 9 ,
. 7 从而验 证 了式 ( ½ 。
7 ) 
4 4 1 ½ 与 
. .   
200 ;
. 9 5 R 
分 别 在 F 一 I ½ 一 一 1 2 2F  
  N; 
.93 +
0 9 7 ;F
. 8 7  = 2 ;½ = 一 1 2 2 ½ + 
.91
2 0 1 ½ 一0 9 3
. 8  R。 . 8 6两 种情 况 F考 察 ½ 随 泊松 比  所 
 
发 生 的变 化 . 果 如 图 ½ 。 见 , 与  始 终 存在 线 性 
3 可
½
 
关 系, 平均相关系数在 O 9
. 8以上 
0 槿脏 (½ L )● 
 
F=N
S…  
½
_
 
吐性(
 橡睦 ½ )
½   
线性½
½拇擦 .
 
2‘5
 
: —  
 
½—— —
 
确挫 比
½
 
½
. 
橡脞 ( 2 )
F N 
0 F  N ◆  F = N
  ½  
½2 
. 线 性  ㈨   一  
   
I =
◆辑橡腔 (  I)▲ ½擞腔 ( 2 ½
F  
【 N 
 
线  ( 像肚・ = 、
½
½
½
F ½ 、一
½½
  E ½捌府(  、
性½
½
 】  
图 1  ½   之间的关系 
3 ;与
图 1  F
1  
 之   的 关 最 
4 4 2 ½ 与 
. .   
2 8 2 R 
. 5 5;
分 别 在 F = 0 I ½一 一2 9 6½  
  .N; 
.25 +
43 F 与 S
.   
 
090 F
. 8 3;  一 0 2 ;½
 N
 = 一 2 91 6 + 
. 9½
以 上只 是 对 单 十 圆 柱 触 头 进 行 分 析 , 果 很 令 人 
满 意 。 么 对 于 圆 柱 触 头 阵 列 又 怎 样 呢 ?为此 , 门对 
½ ½ 干 8   柱 触 头 阵 列 ( 、 两种 橡 胶 ) 的 F与 
½
½ ½8圆
硬 ½
S 的 关 系 进 行 了实 验 , 像 胶 :   0 6 2 8 R 一
 
F = .2 9      
0 9 2 ; 橡 胶 :  . 4 8  R = 0 9 9 。 4十 圆柱 
.98½
F 一0 4 8 8   . 8 4
触 头 , 个 圆柱 社 头 下 面 有 4 半 圆球 触 头 ,
总共 就 有 
 
6个半 圆球 触 头 ,
因而 可 ½ 成 1
 
6十光 斑 (  为这 1 
½即
 
个 面 积 之 和 ) 分 析 结 果 如 图 ½ , 见它 们也 ½ 与表 达 
2可
式 (½ 很 ½ 地 吻 合 ,  S 成 正 比关 系 。
7)
F与  
 
2 8  ½   . 8 2 种情 况 下 考 察 ½ 随 泊 橙 比 所 
. J 3R 一0 9 1 两
 
 
发 生 的 变 化 、 果 见 图 1 。 见 , 
  可
½ 和  始终 存在 线 性 
关系 , 平均相关系数也在 09
. 8以上 
2  
 2
1  
_9
16
. 
1  
 3
 
½
 
O 2 
 5
½ 5
 3  
0 4 
 5
½ 5 
  5
泊社 比
½
 
½ F =   N ◆ ½ =  N
  ½0 I
½02
纯性旷
 
线性L   )
½
*½  
图 1  ½ 和  之 间 的关 系 
4  
5 结 
0 
论 
瓤 
½ ½ 咖 
¨,
本 文 根 据 有 限 元 分 析 理 论 , 光 波 导 三 向 力 触 觉 
一 线性 蛸£   
+ 腔、
◆  嘎脞 
½嗨腔
— — 线性 ½ 橡腔)一
 
传 感 系 统 的 可 靠 性 建 立 了相 应 的 数 学 模 型 , 通 过 专 
½ 设 计 的 实 验 系 统进 行 验 证 , 析 表 明 理 论 和 实 验 具  
有 相 ½ ½ 的 一 致 性 。下 一 步 将 继 续 对 模 型 中 的 系 数 
图 1  F 与 8 之 间的 关 系
 
2  
 
 
½ 、 ½ 、 ½ 和 ½ 进 行 深 入 分 析 。 过 表 达式 ( )
 ½ 、  ½、    
7,
 
可 以 很 容 易 地 利 用 光斑 面 积计 算 出 圆柱 触 头所 受 到 的 
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第3
期 
基于有限元接触变½的光波导三 向力触觉传感 系统 
27
7 
外 力 在 各 个方 向上 的分 力 大 小 , 就 为 智 ½ 机 器 人 的 
触觉传感提供了一种新方案 。
 
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½   ½ ½ ½½ ½ ½ . EEE J ½ ½ ½ ½  
½ ½ ½  ½   ½ ½ ½
½
½ ½ ½ ½1
½ ½
  ½ ½ ½  ½
R½
½½½½   ½  L½ ½ ½½½½, 98 4½
½½½½ A ½½
½
1 8, 5): 2½ 4 .
47
83 
参 考 文献 
1 A. K½ ½・ M . ½ ½ . ½ ½   ½ ½½   ½ ½   ½ ½   ½
 
A. ½ R.
W ½½ T½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½  
½
½ ½ ½   ½   ½ ½ ½½   ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ A½ 
½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½   ½ ½ ½½ ½ . ½ ½ ½   ½   —
½
½½ ½ ½, 85, 5 : 9½ 6  
 ½½ ½ 1
½
½
8½   4
3 ½ 英 俊 , 果 元 , 生 仁 , .光 波 导 三 向力 触 觉 传 感 技 
术 的研 究 .仪 器 仪表 学 报 ,0 0 2 ( ) 6 3 6  
2 0 ,1 6 :1 ½ I.
4 乔生 仁 . 英俊 ,
½
刘嘉敏 , .光波 导三向力触觉传感 技 
术及信号处理
光 于学 报 ,00 2 ( /6 -6 .
20 .9 I :3 7
 
5 王勖成 ,
邵敏 . 限 单 元 法 基本 原 理 和 数 值 方法 . 京 :
 
清 华 大 学 出 版 社 ,0 0
20.
 
S ½½   ½ ½ P½ ½  ½ ½ ½½ ½½ ½ ½  ½ ½½½ ½ ½ ½
½½½ B ½ ½ ½½ ½ ½  ½½ ½ —½ ½ ½ ½ ½½ ½½½  
 
½
( 接 第 2 2页 )
 
 
采 用 5自由度 的 微 凋架 结 合 显 微 镜 ½½ 物 台 的½ 动 
对 准 装 配 微 透 镜 阵 列 与针 孔 阵 列 组 成 的微 光 学 器 件 .
 
并 借助 C D 观 察 是 ・ 可 行 有 效 的 方 法 。
 
对 试 验 的 改 进 方 面 . 果 改 用 具 有 驱 动 功 ½ 的微 
调 架 , 通 过 人 机 交 互 方 式 实 现 微 透 镜 阵 列 与 针 孔 阵 
列装配 , 高装配效率 。
 
致 谢 : 谢 四 J大 学 陈 波 副 教 授 提 供 ½微 透 镜 器 
½
½
件。
 
用 微 透 镜 阵列 观 察 的结 果 , 4 ½ 、½ 为 光 源 通 过 调 
图 () ( )
节 架 通 扎 照 射 到 微透 镜 表 面 并通 过 微透 镜 聚 焦 又 照到 
下 面 针 孔 面 后 观 察 到 的结 果 , () 透 镜 阵 列 与针 孔 
翻 ½微
阵列未对 ½ , ()
½ ½ 微透 镜 阵列 与 针 扎 阵 列严 格 对 ½ 。
 
从  上结 果 可  看 出 ,
仅仅 采 用针 孔 阵 列 . ½ 利 用 率 
½ . 过 针 孔 的光 强 ½ , 利 用 微透 镜 阵 列 ½ 然 对 光 有 
汇 聚 ½ 用 . 杂 散光 也 比较 多 , 微 透 镜 阵 列 与针 孔 阵 
½
列 组 成 的微 光 学 器 件 结 合 丁 两 者 的 优 点 ,
不仅 提 高 了
 
光 ½ 利 用 率 , 且滤 除 了 杂散 光 。
 
参 考文献 
1 M  V½ ½
 
½ ½½, . ½½ ½ ½½. . . ½½ ½ ½ .
M H½ ½ ½
M D E½ ½, ½ 1 .T ½ ½
½ ½½ —
 
½ ½ ½½  ½½½½ —½½   ½ ½ ½ ½ .½ ½ ½  ½ ½   ½—
½ ½ ½ ½½ ½ ½½ ½ ½½½½ ½½ ½ J ½ ½ ½   ½O½½
½
½
½ ½
 
½ ½S½½½ ½ ½   ½ ½ ½½, 68, 8(
½ 
½½   ½A
½½ 19
5 5):
661 66  
½
 
G. . ½
Q X½½,T. C½ ½ G. . ½ . ½ ½   ½ ½ ½ ½
R. ½½, S K½ ½ R½ ½ ½
½½ ½ ½ ½ ½ 
½ ½ ½ ½  ½ ½ ½ ½½½ ½ ½ ½ A½ ½ ½ ½ ½½ L½ ½ ½ ,
½ ½ ½½ ½ ½ ½
½
½ ½ ½ ½ . ½ ½  P ½ ½½
½
½½ ½  
1 8, 3(
 
½8 5 8):  ½ 71 .
7I
  
 
H½ ½ J T½½ ½ , ½ — ½ ½ U½ ½ T½ ½ — ½ ½ ½ ½ ½
½   . ½ ½ H½ ½ M ½½
½
½
½ . ½ ½ ½ ½½ ½ ½
½  
½ ½ ½ ½  ½ ½ ½ ½½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ - A½
½ ½ ½ ½½     ½ ½ ½   ½ ½   ½ ½ ½ [ ½ ½ ½ ½½ ½
 
½½½   ½ ½½,  4, 3(
½ ½ O ½½ I
99 3 4): 67 5 .
5  ̄ 72 
4 H½ ½ J T½½½ , M ½½ ½ W ½ ½ ½ D½ ½½ S ½  
 
½  . ½½ ½
½½ ½
 
½½,
½½½
  ½½
½½ C½½½ ½ [½½½ ½ ½½ ½½ ½ ½   ½½ ½ ½½ ½ ½½½  ½½½ 
½.
½½
½½½½  ½   ½½ ½   ½ ½ ½ ½½½ ½ ½
½ ½ ½ ½ ½   ½ ½ ½ ½ O ½ ½½  ½ ½ ½ ½ ½. 6 0, 9 I : 2
½   ½ ½ ½½ ½ ½ ½. ½ ½
½ E½ ½ ½ ½½ 2 0 3 ( ) 3  
½
3 
5 田维 坚 , 志 华 , 履 容 ,
 
新方法
一 种 全 场 三 维 共 焦 检 测 的 
光 学 学 报 .9 8 1 ( )7 7 7 1
19 .8 6 :½ ½ 6.
 
6 M ½½
 
½½½½½  SH I
½ I
HA R A , ½½½ ½SA SA KI H ½   ½½ ½ 3
H ½
 
. ½½ ½ ½
D 
½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½   ½ ½ ½ — ½ ½ 
½ ½   ½ ½ ½ ½   ½ ½     ½ —½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½
½
½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ . P E, 9 8, 4 4 6 ½ 7 .
½ ½ ½ ½½ ½ ½   ½ ½ ½ S I 1 9 3 7 : 8
5 
7 C ½   ½, ½ L½ ½ ½, ½  ½½ ,½½. N½ ½  ½ ½  
  ½ ½ B G½   ½ ½ T½ ½ J½ ½ ½  I . ½ ½½½½ ½
图 4 试验 结 果 
½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ S I 1 9 , 6 8: 4
½   ½ ½  ½ ½ ½ ½  ½ ½ ½ . P E, 9 6 2 7 1 2½ 
½
½
I 9.
   
4 结 
论 
8 C ½   ½, ½ L½ ½ ½, ½  ½½ ½  1. ½½ ½ ½ ½½
  ½ ½B G½   ½ ½ T½ ½J½ ½,½½ . R½½ ½½   —
½
 
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½   ½   ½ ½ ½ ½  ½ ½½   ½ ½ ½ ½ ½ ½   ½ ½
½ ½ ½   ½ ½ ½½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½   ½   ½ ½ ½  
½
½
½
微 透镜 阵 列 与针 孔 阵 列 组 成 的微 光学 器 件 可 显著 
提 高 光 ½ 利 用 率 . 除 杂 散 光 
½ ½½ SPI , 99 2 6: 0½ 4 3.
½ .
E 1 6, 86 42
2  
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