维普资讯
http://www.cqvip.com
第2卷第3
3
期
仪
器
仪
表
学
报
基 于有 限 元 接触 变 ½ 的光 波导 三 向 力触 觉 传 感 系统
刘 嘉敏
½ 英俊
重庆
乔 生 仁
40 4 )
0 0 4
( 庆 大 学 光 电工 程 学 院
重
摘要
通 过 有 限 元 分 析 方 法 对 一 种 新 型 光 波 导 三 向力 触 觉 传 感 系统 进 行理 论 探 讨 和 仿 真 实 验 , 出 相 应 的 数 学 模 型 . 设 计
提
并
专 1的 实 验 传 感 系统 。实 验 数 据 结 果 验 证 了理 论 分 析 ,
½
从而 在理 论 和 实 验 上证 明 了 该 新 型 光 波 导 三 向力 传 感 方 案 的 可行 性 。
关键词
自限元分析
光波 导
力传感
机器』 触觉
、
O½ ½ ½ ½ ½- ½ ½½
½½ ½ W ½ - ½ ½ T½½ ½- ½ ½ T½ ½½ ½ ½ ½ S ½ ½ ½ ½ ½ ½
½
½ - ½ ½ ½½ S ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ FEA ½ C½ -
½
½ ½-
½ ½ ½ ½ ½ ½½½
½ ½D ½ ½
½½
L½ ½½½ P ½ Y½½ ½ Q½½S ½ ½ ½
½ J½ ½
½ ½ ½½
½ ½ ½ ½½
( 、½C ½ ½ ½ O ½½½½½ ½½E½ ½½½½ C½ ½ ½½ ½.
Y½ ½½ ½½ ½ ½ ½½½½½ ½ ½ ½½½, ½ ½ ½½ U½½ 一C½ ½ ½½ 0 0 4C½ ½ )
½
½ ½ ½½ 4 0 4 一 ½½
A½ ½ ½ ½ W ½½ FEA ½ ½ ½.½½ ½ ½ ½½ ½ ½½½ ½ ½½½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½½½½ ½ ½ ½ ½½ ½½ ½ —
½½½
½
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½½ ½½½ ½ ½½ ½ ½ ½
½½ ½ ½½ ½ ½½ ½½½ ½½½ ½
½½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ , ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½
½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½½ ½ ½½ ½½ ½½ ½ ½
½
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ . ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½½ ½½ ½ ½ ½½½ ½ ½½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½½ ½
½ ½ ½½ ½ ½ ½ A ½ ½½½ ½½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ , ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½
½
½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½½ .
½ ½ ½½ ½ ½ ½½ ½ ½
K½ ½ ½ F½ ½½ ½½ ½ ½ ½½ ½ O½ ½½ ½ ½ ½ ½ F½ ½ ½ ½ ½ R½ ½ ’ ½ ½½
½ ½½ ½
½ ½ ½½ ½½½ ½½ ½
½½ ½½ ½ ½½½
½½½½ ½½
½ ½½ ½ ½ ½½
在 平 面 光 波 导 板 上 放 ½ 橡 胶 垫 , 胶 垫 与 波 导 板 接 触
橡
1 引
言
的 一 面 制 成 圆锥 或 半 圆球 阵列 , 胶 垫 不 受 外 力 时 ,
橡
入
射 光 因全 反 射 而 在 波 导 板 内传输 。½ 受到 外 力 F½ 用
时 , 胶 垫 下 部 的 圆 锥或 半 圆球 触 头 阵列 将 产 生 ½ 变 .
橡
在 压 痕 处 , 于 光 的 全 内反 射 条 件 遭 到 破 坏 而 产 生 光
由
泄 漏 , 成 光 斑 . C 图 像 传 感 器 摄 取 此 光 斑 图 像 并
½
C D
经 图像 卡 进 入 计 算 机 进 行 图 像 处 理 . 而 可 识 别 物 ½
从
的接 触 面 ½ 状 。 对 橡 胶 垫进 行 力学 分 析 . 得 到 外 力
若
可
F与 光 斑 面 积 之 间 的 关 系 ,
则这 种 传 感 器 可 检 测 法 向
力 的大 小 , 在 切 向力 的 检 测方 面 是 无 ½ 为力 的 。
½
智 ½ 机 器 人 的 发 展 对 传 感 器 提 出 了 越 来 越 高 的 技
术 要 求 , 觉 传 感 ½ 为 机 器 人 的 主 要 传 感 方 式 之 一已
触
越 来 越 受 到 人 们 的关 注 。机 器 人 无论 是 抓 持 或 行 走
均足三向力在发生½用 , 而在众多的触觉传感器中 ,
然
直 接 检 测 三 向力 具 有 较 』 的难 度 . 而 三 向 力 传 感 技
½
因
术 的 开 发 研 究 仍 不 多 见 本 文 在 光 波 导 单 向 力 触 觉 传
感 技 术 的 基 础 上, 出 了 一 新 型 的 光 波 导 三 向 力 触
二提
种
觉 传 感 技 术 方 案 , 利 用 有 限 元方 法 分 析 了三 向 力 触
并
觉 传 感 头 受 力 后 引起 半 圆 球 触 头 变 化 的情 况 , 立 起
建
相 应 的 数 学 模 型 , 后通 过 实 验 数 据 对 该 三 向 力 的 计
最
算 公 式 进 行 了验 证 。
2 传 感 系 统 工 ½ 原 理
光 波 导 单 向 力触 觉 传 感 器 的 原 理 。如 图 1 示
所
^
图 1 光 波 导 单 向 力触 觉 恃感 原理
-
本 文 于 20 年 ½月 收 到 ½ 家 自然 科 学 基金 ( 98 0 7 资 助 项 目 。
01
67 5 0 )
维普资讯
http://www.cqvip.com
仪
器
仪
表
学
报
第 23
卷
AN Y
S S的 高级 分 析 技 术 —— AP) 参 数 化设 计 语 言 ,
I
I
通 过 建 立智 ½ 分 析 的 手段 自动 完 成 了繁 杂 而 费 时 的 有
限元分析过程 。
3 1 非 线 性 有 限 单 元 法 求 解 原 理
.
非 线性 问 题通 常 采 用增 最 分析 法 来求 解 。如 果把
½ 用 的 ½½ 荷 描 述 为时 间 的 卣 数 . 物 ½ 有 限 元 离 散 系
则
统 的 平 衡 方 程 ½ ½ I时 刻 可表 示 为 :
和 —A
P‘ ½一 0 P… ‘ ½ ‘ 0
一
一 =
… 。
一
一
、
【)
1
一
式中
P—— ½ 刻 ½½ 荷 节 点 力 向量
‘
时
½
‘
—— ½ 刻 单 元 麻 力 ½ 的 节 力 向 量
时
超
以 ½时 刻 的解 为 已知 .
则有 :
‘
=
½。 ½ ½ 1 【
。I L
:
’1 光
卅漏
_½ 洲
½_
I
、
^
½一 ½
‘
½ K 。
=
½
()
2
、
式 中 卜一
一½到 ½ △
一 ½时 间 问 隔 内 由 单元 内 应 力 增 量
引 起 的 点 力增 向量
K —— ½到 ½ △1 刻 材 料 和 几 ½ 条 件 的 切 向
时
刚 度 矩 阵
½
—— △
½时 间 问 隔 ½ 的 节 电½ 移 增 量
1
1
由表达式()() 得 :
1 、 2
K
½— ½ ‘ ½
一 ½
()
3
图 2 光 波 导 型 二 同 力触 觉 传 感 系 统
½
½ 光 波 导 型 单 向力触 觉 传 感 器 仅 ½ 测 量 ½ 加 于
于
橡 胶 垫 的 正 力 夫 小 的 局 限 性 , 文 提 出 了 一 技 术
本
种
新 方 案
, 图 2所 示 , 系 统 的 力 敏 元 件 由 硅 橡 胶
如
该
制成 . 硅 橡 胶 垫 的 一 侧 制 ½ 圆 柱 触 头 阵 列 ( 2
在
图
() , 其 另 一侧 制 ½ 半 圆球 触 头 阵列 , 得 每 个 圆 柱
½)在
½
触 头 下 面 分 布 四个 半 圆 球 触 头 ( 2 ½ )
图 ( ) 。½ 圆柱 触 头
受 外 力 F 图 2½ ) 用 时 . 应 的 四 个 半 圆 球 触 头 将
(
() ½
对
受到 挤 压 ,
由于 光 波 导 路 中导 波 的 全 内反 射 条 件 遭 到
破 坏 而 产 生 光 泄 漏 , 波 导 板 上 ½ 成 光 斑
在
由于 三 个 方
向分 力大 小 不 同 , 一 个 圆 柱 触 头 而 言 , 面 的 4个 半
就
F
圆球 触 头 与 丙 烯 板 接 触 的 面 积 不 同 ,
因而 ½ 于 丙 烯 板
另 一 面 的 CC 摄 像 机 所 摄 取 到 的 亮 斑 面 积 大 小 也 不
D
相 同 . 图 3所 示 。
如
求 出 ½ 移 增 量 U即 可 算 出 ½ ½ 刻 的 ½ 移 :
+A 时
½
½ 一 U‘ ½
+
(
4)
由 ½ 可 算 出 ½ △ 时 刻 的 应 力 及 ½ 和 K .
件
从 而 可 以 马 上 着 手进 行下 一步 的 迭 代 计 算 为 保 证 精
度 , 取 足够 的选 代 次数 。这 里采 用 N½ ½ — ½ ½ ½
应
½½½ R½ ½ ½
算法 :
K . ½ ½
△½ 一 … 一
½ 一 ½二
½
1
+ -
6
.
½
()
5
式中
½
—— 迭 代 步 数
½ 初始值正是 ½ 刻的解 , :
的
时
即
½+ = ½‘
½
½ = ½
_
()
6
在 迭 代 过 程 中 ,= 随 ½ 增 加 而 逐 步 逼 近 P . 满
½
的
‘ ½
一
一
每_
足给定的精度指标时 . 代终止。
造
本 文 利 用 N ½½½R ½ ½½算 法 进 行 求 解 , ½
½ ½—½½½
很
地 解 决 了非 线 性 问题 中 刚 悻 一 柔 ½ 、
面—— 面 之 间
的接 触 问题
3 2 有 限 元 模 型
.
—
‘
≯一
½ 然 . 终 研 究 对 象 是 圆柱 ½ 和 半 圆球 ½ 眭 头 的
最
½
橡 胶 阵 列 , 考虑 到 在 一 情 况 下 . 之 间 的相 互 ½
½
般
角头
图 3 随外力而变化 的亮斑面积
用较小 . ½略 不计 ,
可
所 , 要 以一 个 圆 柱 触 头 及 其
主
下 面 的 四 ,半 圆球 触 头 为 研 究 对 象 。另 外 卫 考 虑 到 圆
½
柱触头 的中心对称性 . 及在 ½
以
½平 面 内 - 头 不 管 从
触
几 ½ ½ 状 还 是 材 料 属 性 上 讲 , ½方 向 和 Y方 向 ½ 具
在
有 完 全 的 ½ 换 对 称性 .
因此 为 ½ 限 元 分 析 简便 , 以
有
可
把 半 圆 球 触 头 与光 波导 板 的接 触 问题 ½ 为二 维 平 面 变
3 有限元分析:
½
本 文 针 对 有 限 元 中 的 接 触 类 非 线 性 问 题 , 用
应
维普资讯
http://www.cqvip.com
第 3期
基 于 有 限 元 接 触 变½ 的 光 波 导 三 向 力 触 觉 传 感 系统
F (½ — ½ ) SL S + S S )
一 ½
(
— 2
3
)
F一( .
½ + ½ )( 十 S 一 ½。 ½,
½
.
25
7
( ½
7)
( ½)
7
½ 问 题 分 析 ( 应 的 模 弛 如 图 4所 示 ) 由 于 半 球 型 橡
相
,
胶触 头的对称性 ,
为简便计 .
½外 力 F 与 ½½平 行时 .
可½ 不 失 一 性 的 假 设 : S
般
S 一 —S —S 本 文 采 用
½ ( + ½) S 十 S + S +S )
F一 ½
½
(
( ½
7)
A D 言澄汁 ½ 段程序 . 仿真在不 同的 F 和 F
P I语
½ 用 F, 及 不 同 的 泊 松 比和 杨 氏模 量 对 接 触 变 ½ 的
½ 响
式中
½ 、 ,½ 、 ½ 和 —— 力的换 算 系数
½、 ½、
它 们 与材 料 的 其 它 属 眭及 固 柱 、 圆球 的 几 ½ 尺
半
寸等 有 关 , 有 ½ 一½ ½一½ 成 立
且
和 .
4 实 验 结 果 分 析
为 ½从 实 验 上论 证 上 述 公 式 的 可 靠性 , ½ 了 上
=
制
面为 圆柱 触头 、 面 为半 圆球 触 头 的 橡 胶 垫 ( 2
图
() .½ 汁 ½圈 9所 示 的 实验 系统 避 系统 中外 力 标
½ )½ 设
定 装 ½ 的 主 ½ 由 分 度 头 和 高精 度 测 力计 组 成 .
由于 橡
胶 垫 ½ 圆 柞 和 半 圆 球 阵列 是 对 称 排 列 的 , 取 合 适
:
的
选
的 X Y坐 标 , 认 为 F F 性 质 一 致 通 过 台力 分 解 的
、
可
…
疗法 旋 ½ 分 度头 取 坐 标 ½ 加 F 与 F 的 合 力 ,
选
由分
度 头 获 得 两 分 力 夹 角 0旋 ½ 微 调 螺 钉 ½ 加 台 力 F 从
,
.
高 精 度 测 力 计 上 读 得 F的 大 小 ,
由此 可 计 算 出 F
…F
为 方 便 叙 述 , S一S +S +½_S
令 . 。_ S -S -S+S
S ½ 则 表 示 橡 胶 触 头 阵列 中所 有 面 积 和
S
分 废
图 9 实 验 系统 示 意
41 F 与 ½
. ½
½
在 仅 有 F ½ 田的 情 况 下 分 别 用硬 、 橡 胶 垫 进 行
,
½
实 验 , 橡 胶 : . 9 S R 一 0 93 , 橡 胶 :
硬
F 一2 ½ 4 . 9 7 ½
F
一
L 3 1 R 一 0 9 6 。 所 得 数 据 结 果 如 图 1
7S½ . 9 8
0所 示
可 见 F 与 S 始终 成 线 性 正 比关 系 . 且 相关 系 数均 大
而
6 H有 F ½ 用
图7 F
和 F 同 时½ 用
图 8 接 啦 部 分 变 ½ 前 后 对 比图
【
½½
通 过 上分析 和 假 歧 . 合 线性 回 ½理 论 , 导 出
=
=
结
推
0 硬橡I ◆
½
童
½檬睦
½ ½ 碰橡 胶) —— 线性 ,
 ̄ ½:
鞋橡
外力 F的 ½个分量 F
…F、
F 与四个光斑 的面积 S …
.
S
S
…S 之 问 存 在 着 如 ½ 系 :
关
图 1 F 与 ½ 之 间 的关 系
O
维普资讯
http://www.cqvip.com
26
7
仪
器
0
仪
O
表
末
O
学
报
第 2 卷
3
于 0 9 , 而验 证 了式 ( ½
.9从
7)
42 F 与 ½
. 。
44 泊松比 ½
.
上述分 析 已表 明 F 、
F 分别 与 S、 线性正 比
S 成
关系 . 妨假设对应系数分别 为 ½
不
…½, ½ 需 验 证 ½ 、
则 ½
。
½ 与 是 否成 线 性 关 系
,
在 F 分 别取 I 和 2 的情 况下 用 硬 、 橡胶 垫进
N
N
½
行 实验 , 橡 胶 ( 1 : 1 9 98 : . 9 ;
硬
F
N)F = . 54 。R =O 9 2 硬
橡 胶 ( N)F = 1 9 6 R =0 9 4 ;
F 竺2 : . 58 . 7 9 ½橡 胶 (
F=
1 : 15 58 ; 0 9 4 ; 橡 胶 ( 2 :
N)F 一 . 6 8 R = . 8 9 ½
F = N) F
= 15 9 8: . 7 9
. 5 4 R 一0 9 7 。所得 数 据结 果 如 图 ½ 所 示 :
½
可 见不论 F
如 ½变 化 ,
始终与 S
成线 性 正 比关 系 且
而
平 均相 关系 数大 于 0 9 ,
. 7 从而验 证 了式 ( ½ 。
7 )
4 4 1 ½ 与
. .
200 ;
. 9 5 R
分 别 在 F 一 I ½ 一 一 1 2 2F
N;
.93 +
0 9 7 ;F
. 8 7 = 2 ;½ = 一 1 2 2 ½ +
N
,
.91
2 0 1 ½ 一0 9 3
. 8 R。 . 8 6两 种情 况 F考 察 ½ 随 泊松 比 所
7
发 生 的变 化 . 果 如 图 ½ 。 见 , 与 始 终 存在 线 性
结
3 可
½
关 系, 平均相关系数在 O 9
且
. 8以上
:
一
0 槿脏 (½ L )●
F=N
…
S…
½
_
一
吐性(
橡睦 ½ )
½
线性½
½拇擦 .
2‘5
: —
½—— —
确挫 比
½
½
.
橡脞 ( 2 )
F N
0 F N ◆ F = N
½
½2
. 线 性 ㈨ 一
I =
◆辑橡腔 ( I)▲ ½擞腔 ( 2 ½
F
【 N
线 ( 像肚・ = 、
½
½
½
巳
F ½ 、一
½½
…
E ½捌府( 、
性½
½
】
图 1 ½ 之间的关系
3 ;与
图 1 F
1
S
之 的 关 最
4 4 2 ½ 与
. .
2 8 2 R
. 5 5;
分 别 在 F = 0 I ½一 一2 9 6½
.N;
.25 +
43 F 与 S
.
090 F
. 8 3; 一 0 2 ;½
N
= 一 2 91 6 +
. 9½
以 上只 是 对 单 十 圆 柱 触 头 进 行 分 析 , 果 很 令 人
结
满 意 。 么 对 于 圆 柱 触 头 阵 列 又 怎 样 呢 ?为此 , 门对
那
专
½ ½ 干 8 柱 触 头 阵 列 ( 、 两种 橡 胶 ) 的 F与
½
½ ½8圆
硬 ½
上
S 的 关 系 进 行 了实 验 , 像 胶 : 0 6 2 8 R 一
硬
F = .2 9
0 9 2 ; 橡 胶 : . 4 8 R = 0 9 9 。 4十 圆柱
.98½
F 一0 4 8 8 . 8 4
触 头 , 个 圆柱 社 头 下 面 有 4 半 圆球 触 头 ,
每
个
总共 就 有
1
6个半 圆球 触 头 ,
因而 可 ½ 成 1
6十光 斑 ( 为这 1
½即
6
个 面 积 之 和 ) 分 析 结 果 如 图 ½ , 见它 们也 ½ 与表 达
。
2可
式 (½ 很 ½ 地 吻 合 , S 成 正 比关 系 。
7)
F与
2 8 ½ . 8 2 种情 况 下 考 察 ½ 随 泊 橙 比 所
. J 3R 一0 9 1 两
6
发 生 的 变 化 、 果 见 图 1 。 见 ,
结
可
4
½ 和 始终 存在 线 性
关系 , 平均相关系数也在 09
且
. 8以上
2
2
1
_9
16
.
1
3
1
½
O 2
5
½ 5
3
0 4
5
½ 5
5
泊社 比
½
½ F = N ◆ ½ = N
½0 I
½02
纯性旷
一
线性L )
½
*½
图 1 ½ 和 之 间 的关 系
4
5 结
0
论
瓤
½ ½ 咖
¨,
本 文 根 据 有 限 元 分 析 理 论 , 光 波 导 三 向 力 触 觉
为
一 线性 蛸£
+ 腔、
◆ 嘎脞
½嗨腔
— — 线性 ½ 橡腔)一
传 感 系 统 的 可 靠 性 建 立 了相 应 的 数 学 模 型 , 通 过 专
并
½ 设 计 的 实 验 系 统进 行 验 证 , 析 表 明 理 论 和 实 验 具
1
分
有 相 ½ ½ 的 一 致 性 。下 一 步 将 继 续 对 模 型 中 的 系 数
图 1 F 与 8 之 间的 关 系
2
½ 、 ½ 、 ½ 和 ½ 进 行 深 入 分 析 。 过 表 达式 ( )
½ 、 ½、
通
7,
可 以 很 容 易 地 利 用 光斑 面 积计 算 出 圆柱 触 头所 受 到 的
维普资讯
http://www.cqvip.com
第3
期
基于有限元接触变½的光波导三 向力触觉传感 系统
27
7
外 力 在 各 个方 向上 的分 力 大 小 , 就 为 智 ½ 机 器 人 的
这
触觉传感提供了一种新方案 。
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ . EEE J ½ ½ ½ ½
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½
½
½ ½ ½ ½1
½ ½
½ ½ ½ ½
R½
½½½½ ½ L½ ½ ½½½½, 98 4½
½½½½ A ½½
½
1 8, 5): 2½ 4 .
47
83
参 考 文献
1 A. K½ ½・ M . ½ ½ . ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½
A. ½ R.
W ½½ T½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½
½
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ A½
½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ . ½ ½ ½ ½ —
½
½½ ½ ½, 85, 5 : 9½ 6
½½ ½ 1
½
½
8½ 4
3
3 ½ 英 俊 , 果 元 , 生 仁 , .光 波 导 三 向力 触 觉 传 感 技
付
乔
等
术 的研 究 .仪 器 仪表 学 报 ,0 0 2 ( ) 6 3 6
2 0 ,1 6 :1 ½ I.
7
4 乔生 仁 . 英俊 ,
½
刘嘉敏 , .光波 导三向力触觉传感 技
等
术及信号处理
光 于学 报 ,00 2 ( /6 -6 .
20 .9 I :3 7
5 王勖成 ,
邵敏 . 限 单 元 法 基本 原 理 和 数 值 方法 . 京 :
有
北
清 华 大 学 出 版 社 ,0 0
20.
S ½½ ½ ½ P½ ½ ½ ½ ½½ ½½ ½ ½ ½ ½½½ ½ ½ ½
½½½ B ½ ½ ½½ ½ ½ ½½ ½ —½ ½ ½ ½ ½½ ½½½
½
( 接 第 2 2页 )
7
采 用 5自由度 的 微 凋架 结 合 显 微 镜 ½½ 物 台 的½ 动
对 准 装 配 微 透 镜 阵 列 与针 孔 阵 列 组 成 的微 光 学 器 件 .
并 借助 C D 观 察 是 ・ 可 行 有 效 的 方 法 。
C
种
对 试 验 的 改 进 方 面 . 果 改 用 具 有 驱 动 功 ½ 的微
如
调 架 , 通 过 人 机 交 互 方 式 实 现 微 透 镜 阵 列 与 针 孔 阵
可
列装配 , 高装配效率 。
提
致 谢 : 谢 四 J大 学 陈 波 副 教 授 提 供 ½微 透 镜 器
感
½
½
『
件。
用 微 透 镜 阵列 观 察 的结 果 , 4 ½ 、½ 为 光 源 通 过 调
图 () ( )
节 架 通 扎 照 射 到 微透 镜 表 面 并通 过 微透 镜 聚 焦 又 照到
下 面 针 孔 面 后 观 察 到 的结 果 , () 透 镜 阵 列 与针 孔
翻 ½微
阵列未对 ½ , ()
½ ½ 微透 镜 阵列 与 针 扎 阵 列严 格 对 ½ 。
从 上结 果 可 看 出 ,
仅仅 采 用针 孔 阵 列 . ½ 利 用 率
光
½ . 过 针 孔 的光 强 ½ , 利 用 微透 镜 阵 列 ½ 然 对 光 有
通
而
汇 聚 ½ 用 . 杂 散光 也 比较 多 , 微 透 镜 阵 列 与针 孔 阵
½
而
列 组 成 的微 光 学 器 件 结 合 丁 两 者 的 优 点 ,
不仅 提 高 了
光 ½ 利 用 率 , 且滤 除 了 杂散 光 。
而
参 考文献
1 M V½ ½
½ ½½, . ½½ ½ ½½. . . ½½ ½ ½ .
M H½ ½ ½
M D E½ ½, ½ 1 .T ½ ½
½ ½½ —
½ ½ ½½ ½½½½ —½½ ½ ½ ½ ½ .½ ½ ½ ½ ½ ½—
½ ½ ½ ½½ ½ ½½ ½ ½½½½ ½½ ½ J ½ ½ ½ ½O½½
½
½
½ ½
½ ½S½½½ ½ ½ ½ ½ ½½, 68, 8(
½
½½ ½A
½½ 19
5 5):
661 66
½
4
2
G. . ½
Q X½½,T. C½ ½ G. . ½ . ½ ½ ½ ½ ½ ½
R. ½½, S K½ ½ R½ ½ ½
½½ ½ ½ ½ ½
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½½ ½ ½ ½ A½ ½ ½ ½ ½½ L½ ½ ½ ,
½ ½ ½½ ½ ½ ½
½
½ ½ ½ ½ . ½ ½ P ½ ½½
½
½½ ½
1 8, 3(
½8 5 8): ½ 71 .
7I
6
8
3
H½ ½ J T½½ ½ , ½ — ½ ½ U½ ½ T½ ½ — ½ ½ ½ ½ ½
½ . ½ ½ H½ ½ M ½½
½
½
½ . ½ ½ ½ ½½ ½ ½
½
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ - A½
½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ [ ½ ½ ½ ½½ ½
½½½ ½ ½½, 4, 3(
½ ½ O ½½ I
99 3 4): 67 5 .
5  ̄ 72
4 H½ ½ J T½½½ , M ½½ ½ W ½ ½ ½ D½ ½½ S ½
½ . ½½ ½
½½ ½
½½,
½½½
½½
½½ C½½½ ½ [½½½ ½ ½½ ½½ ½ ½ ½½ ½ ½½ ½ ½½½ ½½½
½.
½½
½½½½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½½½ ½ ½
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ O ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½. 6 0, 9 I : 2
½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½. ½ ½
½ E½ ½ ½ ½½ 2 0 3 ( ) 3
½
3
9
5 田维 坚 , 志 华 , 履 容 ,
丁
郭
等
新方法
一 种 全 场 三 维 共 焦 检 测 的
光 学 学 报 .9 8 1 ( )7 7 7 1
19 .8 6 :½ ½ 6.
6 M ½½
½½½½½ SH I
½ I
HA R A , ½½½ ½SA SA KI H ½ ½½ ½ 3
H ½
. ½½ ½ ½
D
½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ — ½ ½
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ —½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½
½
½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ . P E, 9 8, 4 4 6 ½ 7 .
½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ S I 1 9 3 7 : 8
5
7 C ½ ½, ½ L½ ½ ½, ½ ½½ ,½½. N½ ½ ½ ½
½ ½ B G½ ½ ½ T½ ½ J½ ½ ½ I . ½ ½½½½ ½
图 4 试验 结 果
½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ S I 1 9 , 6 8: 4
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ . P E, 9 6 2 7 1 2½
½
½
I 9.
4
4 结
论
8 C ½ ½, ½ L½ ½ ½, ½ ½½ ½ 1. ½½ ½ ½ ½½
½ ½B G½ ½ ½ T½ ½J½ ½,½½ . R½½ ½½ —
½
½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½
½ ½ ½ ½ ½ ½½½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½ ½
½
½
½
微 透镜 阵 列 与针 孔 阵 列 组 成 的微 光学 器 件 可 显著
提 高 光 ½ 利 用 率 . 除 杂 散 光
滤
½ ½½ SPI , 99 2 6: 0½ 4 3.
½ .
E 1 6, 86 42
2
评论