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半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用

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标签: 半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用

半导体纳米氧化物气敏传感器的制备及应用

论述了金属氧化物SnO  2  的气敏机理,  并对通过掺杂金属、金属离子、金属氧化物以及形成复合型、多组分氧化物等方法制备SnO  2  薄膜气敏传感器的最新研究成果进行了简要介绍。关键词 传感器 气敏材料 SnO  2  薄膜 制备 应用Abstract The  gas  sensit  ive  p  rincip  le  of  t  in2dioxide  was  stated  and  the  p  resent  study  situat  ion  was  int  roduced  briefly  on  p  reparat  ion  of  t  in2dioxide  membranous  gas  senso  r  by  means  of  dop  ing  metal,metal  ions,metal  oxides,  the  compo  site  of  metal  oxides.Key  words Senso  r Gas2sensing  materials SnO2membrane P  reparat  ion App  licat  ion

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