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刻蚀工序培训

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标签: 刻蚀工序培训

刻蚀工序培训

                  刻蚀的目的和原理  刻蚀目的:去除边缘PN结,防止短路  刻蚀原理:  ①4HNO3  +3Si=3SiO2  +4NO+2H  2  O  ②SiO2  +6HF=H2  [SiF  6  ]+2H  2O  去PSG(磷硅玻璃)原理:  SiO2  +  4HF  →  SiF  4  ↑  +2H  2  O  SiF4  +  2HF  →  H  2[SiF6]

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