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线阵CCD微小尺寸测量误差分析

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  • 2013-09-22
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标签: 测量

测量

线阵CCD

线阵CCD

误差分析

误差分析

微小尺寸

微小尺寸

  利用线阵CCD可以进行一维无接触微小尺寸的测量,具体方法是建立经过衍射后的被测件尺寸与CCD视频输出的函数关系来达到对微小尺寸的高精度测量;并对该测量方法的误差进行了分析。

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