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《微传感器与微执行器全书》

1星
2016-07-21
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文档简介
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用户评论3

标签：传感器执行器

中文书：《微传感器与微执行器全书》

英文名：《Micromachined Transducers Sourcebook》

作者：[美]格雷戈里 T.A.科瓦奇

翻译：张文栋

出版社：科学出版社

简介：本书可作为微机电系统专业研究生课程教材，亦可作为此专业工程技术人员的参考书，本书总数了微机械加工方法，涉及到了各种卫星传感器与执行器类型。通过对微器件设计过程的研究，给出了多种微器件的制造方法。为了分析比较不同方法的性能，本书介绍了许多典型微型传感器，微型执行器及关键微结构的设计实例。

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评论

: combat; 2003年第一版，扫描得很清晰，多谢; 2022-01-14 10:42:06回复

: 玄鼠云; 谢谢分享受用了haoziliao; 2022-01-07 07:49:50回复

: 电子唐; 谢谢分享受用了; 2020-02-26 23:35:14回复

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: tyw; 查看他的其他资源

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