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《MEMS System Design》高清书签完整英文版

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标签： MEMS

《MEMS System Design》完整英文版 PDF

作者：James Allen

内容：

Chapter 1. Introduction

Chapter 2. Fabrication Processes

Chapter 3. MEMS Technologies

Chapter 4. Scaling Issues for MEMS

Chapter 5. Design Realization Tools for MEMS

Chapter 6. Electromechanics

Chapter 7. Modeling and Design

Chapter 8. MEMS Sensors and Actuators

Chapter 9. Packaging

Chapter 10. Reliability

Appendices

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: bujunbuzhiying; 英文版的，阅读很吃力; 2018-05-02 11:16:56回复

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