MEMS-sensor-微传感器原理 中文
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微传感器与微驱动器原理一 前章延伸:MEMS市场前景诱人设计制造 涉及到多学科的科学与工程原理的应用 了解这些器件的工作原理对新MEMS器件设 计是重要的 本章给出的只是器件原理的基本信息 注意:所选器件只是由于其设计上巧妙的 想法,市场上未必是成功的 概念从能量的角度:是将能量从一种形式转换成另外一 种形式,并且针对特定的待测输入为用户提供一种 可用的能量输出的器件即是指能感受规定的被测 量并按照一定规律转换成便于测量的输出信号的器 件,一般由敏感元件和转换元件组成 微传感器Microsensor是微机械的重头产品, 在已开发的微机械产品中,微传感器占到90微传 感器的体积小功耗低响应快,便于和信号处理部 分集成以构成微传感器测试系统,这些特性使其可 以应用于汽车航空航天电机医学家用电器 生物化学环境监测等广阔领域 微传感器的出现和广泛应用是微电子制造技术扩展 应用的结果这些技术包括光刻薄膜镀层化学 和离子加工等它们使得传感器结构得以微型化, 从而能在同一基片表面制作大量的传感器,实现批 量生产 MicroSystem 1 传感原理电阻包括压阻传感压电传......
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